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東吳證券-海外半導(dǎo)體設(shè)備巨頭巡禮系列:詳解光刻巨人ASML成功之奧妙-241015
上傳日期:
2024/10/15
大?。?/td>
7976KB
格式:
pdf 共94頁(yè)
來(lái)源:
東吳證券
評(píng)級(jí):
--
作者:
周爾雙
,
李文意
下載權(quán)限:
無(wú)限制-登錄即可下載
歷經(jīng)40年發(fā)展,通過(guò)不斷收購(gòu)?fù)瑯I(yè)和上游供應(yīng)商、創(chuàng)新并引領(lǐng)行業(yè)技術(shù)突破,ASML現(xiàn)已成為全球第一大IC光刻機(jī)廠商。ASML于1984年成立,40年來(lái)公司產(chǎn)品布局專注于IC前道光刻機(jī),從創(chuàng)業(yè)之初的篳路藍(lán)縷,幾經(jīng)突破后終成光刻巨人。2023年,ASML實(shí)現(xiàn)營(yíng)收276億歐元(約2150億人民幣),同比+30%,凈利潤(rùn)78億歐元(約610億人民幣),同比+39%。
◆光源&數(shù)值孔徑&工藝因子三輪驅(qū)動(dòng),共促光刻技術(shù)迭代。光刻機(jī)在光刻工藝中承擔(dān)曝光這一核心步驟,投影式掩模光刻長(zhǎng)期成為IC光刻機(jī)采用的主流技術(shù)。投影式光刻機(jī)可按曝光方式分為掃描式、步進(jìn)重復(fù)式和步進(jìn)掃描式(目前步進(jìn)掃描式為行業(yè)主流),也可按光源類型分為UV、DUV和EUV光刻機(jī)。過(guò)去40年光刻機(jī)的技術(shù)迭代主要圍繞分辨率、套刻精度、產(chǎn)能三大關(guān)鍵指標(biāo)以及決定分辨率的光源波長(zhǎng)、數(shù)值孔徑和工藝因子三大參數(shù)展開(kāi)。
◆光源系統(tǒng)&光學(xué)系統(tǒng)&雙工件臺(tái)為光刻機(jī)三大核心部件。光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋眾多上游組件&系統(tǒng)和中游配套設(shè)備&材料,其中光源系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、雙工件臺(tái)為光刻機(jī)的三大核心部件,價(jià)值量占比分別為15%、24%、12%。光源供應(yīng)幾乎由美國(guó)Cymer和日本Gigaphoton壟斷;光學(xué)系統(tǒng)包括照明系統(tǒng)和投影物鏡兩大組成部分,其中投影物鏡技術(shù)難度極高,EUV投影物鏡由德國(guó)蔡司一家壟斷;雙工件臺(tái)由ASML于2001年最先推出,可在大幅提升光刻機(jī)產(chǎn)率的同時(shí)實(shí)現(xiàn)更高精度。
◆光刻機(jī)市場(chǎng):一超雙強(qiáng)格局穩(wěn)定,晶圓擴(kuò)產(chǎn)拉動(dòng)需求增長(zhǎng)。2023年全球IC光刻機(jī)市場(chǎng)規(guī)模接近260億美元,且穩(wěn)定呈現(xiàn)“一超雙強(qiáng)”的競(jìng)爭(zhēng)格局,其中ASML在DUV和EUV光刻機(jī)市場(chǎng)均占據(jù)主導(dǎo)地位,特別是EUV光刻機(jī)市占率達(dá)到100%。展望未來(lái)光刻機(jī)市場(chǎng)需求,ASML預(yù)計(jì)2025年、2030年全球晶圓需求將分別達(dá)1280萬(wàn)片/月、1660萬(wàn)片/月(等效12英寸),2020-2030年成熟制程和先進(jìn)制程晶圓需求CAGR分別為6%和10%,從而帶動(dòng)光刻機(jī)特別是中高端光刻機(jī)的需求增長(zhǎng)。
◆ ASML核心壁壘:技術(shù)、生態(tài)、資金三重壁壘筑高墻。通過(guò)復(fù)盤ASML的發(fā)展歷程,我們發(fā)現(xiàn)ASML的成功之路離不開(kāi)技術(shù)、生態(tài)、資金三大要素,而這三大要素也鑄造了ASML未來(lái)持續(xù)壟斷行業(yè)的高大護(hù)城河。(1)技術(shù):ASML早期憑借PAS 5500、雙工件臺(tái)、浸沒(méi)式、EUV四項(xiàng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)趕超日本,如今ASML各項(xiàng)光刻機(jī)指標(biāo)均在引領(lǐng)行業(yè),成為延續(xù)摩爾定律的先鋒。(2)生態(tài):ASML已掌控了光刻機(jī)的光源、光學(xué)系統(tǒng)、雙工件臺(tái)這三大最核心部件的供應(yīng),并與全球頭部晶圓廠客戶深度合作,已構(gòu)筑起完善而牢固的生態(tài)網(wǎng)絡(luò)。(3)資金:ASML早期獲得了頭部客戶的股權(quán)投資,中后期又在自身大量盈利以及荷蘭政府的補(bǔ)貼/減稅支持下,持續(xù)巨額投入資金研發(fā)、收購(gòu)供應(yīng)商,不斷強(qiáng)化自身優(yōu)勢(shì)。
◆國(guó)產(chǎn)光刻機(jī):前路漫漫亦燦燦,吾將上下而求索。美日荷意圖通過(guò)光刻機(jī)管制政策限制中國(guó)大陸先進(jìn)制程發(fā)展,其中EUV光刻機(jī)早已明令禁入中國(guó)大陸,如今ArFi光刻機(jī)的管制也在加強(qiáng)。但我們看到,2023年以來(lái)ASML已將較多高端ArFi光刻機(jī)交付中國(guó)大陸,其中湖北、安徽、北京三地為進(jìn)口ASML中端光刻機(jī)的主要省市。光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化方面,目前國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)自主可控的三大核心要素均已具備,生態(tài)網(wǎng)絡(luò)正逐步完善,資金面相對(duì)充足,但最為關(guān)鍵的技術(shù)端仍然薄弱。目前國(guó)內(nèi)光刻機(jī)可實(shí)現(xiàn)65nm制程,整體技術(shù)水平落后ASML約20~30年,但在政府重視程度不斷加深、多家頂尖科研院所與高校的共同努力下,我們看好未來(lái)SMEE和各大院所在技術(shù)端的持續(xù)突破。
◆風(fēng)險(xiǎn)提示:半導(dǎo)體行業(yè)投資不及預(yù)期,設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程不及預(yù)期,國(guó)際貿(mào)易摩擦加劇風(fēng)險(xiǎn),半導(dǎo)體技術(shù)快速迭代風(fēng)險(xiǎn)。
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