>> 廣發(fā)證券-建筑行業(yè)周報：潔凈室產(chǎn)業(yè)鏈再延伸，廠務(wù)設(shè)備及服務(wù)領(lǐng)域有哪些投資機會？-260524
| 上傳日期： |
2026/5/24 |
大小： |
2184KB |
| 格式： |
pdf 共17頁 |
來源： |
廣發(fā)證券 |
| 評級： |
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作者： |
耿鵬智，謝璐 |
| 下載權(quán)限： |
此報告為加密報告 |
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核心觀點：
廠務(wù)設(shè)備-氣體過濾設(shè)備：控制顆粒物與AMC的核心潔凈室設(shè)備，25年預(yù)計市場空間150億元。作用為控制顆粒物與AMC，污染超標會導致硅片腐蝕、光刻異常、鏡片霧化、摻雜失控等，從而直接影響良率。預(yù)計2025年我國空氣過濾器行業(yè)市場規(guī)模會達到150億元。關(guān)注美?？萍肌?br> 廠務(wù)設(shè)備-高純工藝系統(tǒng)：高純氣體、化學品、液體等物料供應(yīng)系統(tǒng)，2030年全球市場空間391億元。向設(shè)備連續(xù)供應(yīng)超高純氣體、化學品、液體。包括高純氣體系統(tǒng)、濕化學品系統(tǒng)等。全球清洗設(shè)備市場規(guī)模將以5.5%的復合年增長率持續(xù)擴張，至2030年有望達到391億元。該領(lǐng)域長期由國際廠商主導，但國內(nèi)企業(yè)在28納米及以上成熟制程節(jié)點已取得顯著突破，部分高端機型進入量產(chǎn)階段，國產(chǎn)替代進程穩(wěn)步推進。關(guān)注至純科技、正帆科技。
廠務(wù)設(shè)備-廢氣處理：環(huán)保安全控制環(huán)節(jié)，剛性需求小市場。處理制程排氣與化學廢氣，滿足環(huán)保與安全。相關(guān)設(shè)備包括L/S、LOC-VOC、廢氣治理系統(tǒng)。關(guān)注盛劍科技。
廠務(wù)耗材：電子氣體國產(chǎn)化替代進行時。電子大宗氣體：包括高純氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、氦氣，作為環(huán)境氣、保護氣、清潔氣、運載氣，貫穿生產(chǎn)全流程，供應(yīng)模式通常為項目現(xiàn)場投建制氣站供應(yīng)。根據(jù)至純科技財報，2025年，中國大陸電子大宗氣體市場規(guī)模預(yù)計達122億元。電子特種氣體：主要為各類氟化物及混合氣，用于刻蝕、成膜、清洗、摻雜、光刻等環(huán)節(jié)的關(guān)鍵反應(yīng)原料。預(yù)計2025年國內(nèi)電子特氣市場規(guī)模將達到316.6億元，近80%產(chǎn)品依賴進口。當前國內(nèi)企業(yè)市場份額逐漸擴大，2025年國產(chǎn)化率將有望提升至25%。其他廠務(wù)耗材：EP管、氣體管路模組、腔體、閥門、噴淋頭、勻氣盤等。電子氣體領(lǐng)域關(guān)注中船特氣、華特氣體、昊華科技、金宏氣體、和遠氣體、凱美特氣，其他耗材領(lǐng)域關(guān)注新萊應(yīng)材。
投資建議：長存啟動IPO輔導，存儲芯片、先進制程邏輯芯片、半導體設(shè)備國產(chǎn)替代進行時，繼續(xù)重視國產(chǎn)存儲及先進制程擴產(chǎn)投資機會。潔凈室領(lǐng)域：重點推薦柏誠股份、深桑達A，關(guān)注亞翔集成、圣暉集成、太極實業(yè)、華康潔凈。廠務(wù)設(shè)備&耗材領(lǐng)域：關(guān)注美?？萍迹◤V發(fā)環(huán)保覆蓋）、正帆科技（廣發(fā)機械覆蓋）、至純科技、盛劍科技、金宏氣體、華特氣體、中船特氣、昊華科技、和遠氣體、凱美特氣、新萊應(yīng)材。
風險提示：投資力度不及預(yù)期、毛利率不及預(yù)期、海外業(yè)務(wù)拓展風險。
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