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>> 廣發(fā)證券-機(jī)械設(shè)備行業(yè)深度分析-檢測(cè)量測(cè)設(shè)備:芯片良率守護(hù)者,短板突破正當(dāng)時(shí)-230221
上傳日期:   2023/2/22 大小:   2004KB
格式:   pdf  共28頁(yè) 來(lái)源:   廣發(fā)證券
評(píng)級(jí):   強(qiáng)于大市 作者:   代川,孫柏陽(yáng)
行業(yè)名稱:   機(jī)械
下載權(quán)限:   此報(bào)告為加密報(bào)告
核心觀點(diǎn):
  檢測(cè)量測(cè)設(shè)備為半導(dǎo)體質(zhì)量控制的重要組成部分。芯片制造過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生各種缺陷,質(zhì)量控制設(shè)備把關(guān)整體良率,其貫穿于芯片制造全程,包括測(cè)試和過(guò)程工藝控制兩大類型,后者根據(jù)功能可具體分為檢測(cè)(Inspection)和量測(cè)設(shè)備(Metrology)。
  檢測(cè)量測(cè)設(shè)備種類豐富,光學(xué)檢測(cè)為主流技術(shù)路徑。檢測(cè)量測(cè)可以細(xì)分為晶圓檢測(cè)、掩膜版檢測(cè)、關(guān)鍵尺寸量測(cè)、膜厚量測(cè)、晶圓形貌量測(cè)等多種細(xì)分設(shè)備,技術(shù)路線可分為光學(xué)、電子束檢測(cè)和X光檢測(cè)三類,所涉設(shè)備市場(chǎng)空間占比分別為75.2%、18.7%、2.2%,光學(xué)檢測(cè)均衡速度與精度,是過(guò)程工藝控制的主要技術(shù)路徑。
  中國(guó)大陸為半導(dǎo)體檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備的第一大市場(chǎng)。2020年全球過(guò)程工藝控制設(shè)備占半導(dǎo)體設(shè)備開支的比例為11.8%,其中檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)空間分別為47.9、25.6億美元。分地區(qū)看,檢測(cè)量測(cè)設(shè)備前三大市場(chǎng)為中國(guó)大陸、中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó),占比分別為27%、25%、18%。
  本土企業(yè)率先布局寬應(yīng)用、低壁壘賽道,國(guó)產(chǎn)替代加速進(jìn)行。檢測(cè)量測(cè)設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)梯隊(duì)分明,科磊半導(dǎo)體占據(jù)全球市場(chǎng)的半壁江山,全球CR8市占率達(dá)92%。國(guó)產(chǎn)企業(yè)率先切入晶圓缺陷檢測(cè)、關(guān)鍵尺寸量測(cè)等應(yīng)用較寬、市場(chǎng)空間相對(duì)較大、難度壁壘相對(duì)較低領(lǐng)域,產(chǎn)品獲得市場(chǎng)認(rèn)可,市占率穩(wěn)步提升,2018-2021年,中科飛測(cè)在國(guó)內(nèi)檢測(cè)量測(cè)設(shè)備的市占率由0.4%提升至1.7%。
  拓展廣度,本土企業(yè)通過(guò)自主研發(fā)和并購(gòu)海外子公司拓展產(chǎn)品線。以中科飛測(cè)為代表的企業(yè)通過(guò)自主研發(fā)向半導(dǎo)體檢測(cè)量測(cè)領(lǐng)域發(fā)力;而以長(zhǎng)川科技、賽騰股份、天準(zhǔn)科技為代表的公司通過(guò)收購(gòu)海外公司構(gòu)建產(chǎn)業(yè)生態(tài)。本土企業(yè)產(chǎn)品覆蓋率快速提升。
  開掘深度,細(xì)分領(lǐng)域進(jìn)軍先進(jìn)制程。本土企業(yè)先進(jìn)制程產(chǎn)品研發(fā)持續(xù)取得突破:上海睿勵(lì)5nm薄膜膜厚測(cè)量、中科飛測(cè)2Xnm以下套刻精度量測(cè)均處于驗(yàn)證階段。
  投資建議:從行業(yè)角度,2022-2023年,受行業(yè)去庫(kù)存、美國(guó)制裁等多因素影響半導(dǎo)體設(shè)備板塊起伏不定,而半導(dǎo)體檢測(cè)量測(cè)設(shè)備重點(diǎn)面向成熟制程,且設(shè)備種類更多、國(guó)產(chǎn)替代空間更大而在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域具備防御屬性;從公司角度,量測(cè)檢測(cè)設(shè)備公司大多為平臺(tái)化公司,其下游業(yè)務(wù)覆蓋先進(jìn)制造各個(gè)領(lǐng)域,有利于抵御單一半導(dǎo)體行業(yè)波動(dòng)沖擊。綜上所述,兼顧成長(zhǎng)性和防御性,推薦長(zhǎng)川科技,并建議關(guān)注中科飛測(cè)、天準(zhǔn)科技、賽騰股份。
  風(fēng)險(xiǎn)提示:半導(dǎo)體資本開支不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn);核心零部件供應(yīng)風(fēng)險(xiǎn);產(chǎn)品研發(fā)進(jìn)度及性能不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)。
  
  
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