>> 中航證券-電子行業(yè)點評：光刻機燃眉之急暫解，直接利好上游設(shè)備材料-230901
| 上傳日期： |
2023/9/1 |
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| 1110KB |
| 格式： |
pdf 共4頁 |
來源： |
中航證券 |
| 評級： |
增持 |
作者： |
劉牧野 |
| 行業(yè)名稱： |
電子 |
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◆事件:
據(jù)路透社報道，當(dāng)?shù)貢r間8月31日，ASML證實公司可在2023年底前向中國大陸客戶出口先進浸沒式DUV,包括TWINSCANNXT:2000i及更先進的型號，EUV仍在禁運清單內(nèi)。2024年起，上述先進設(shè)備將較難獲得出口許可證。
◆制裁情況優(yōu)于此前預(yù)期，解行業(yè)燃眉之急
從光刻機制裁的時間線來看，2023年初美日荷三國領(lǐng)導(dǎo)人會晤，計劃聯(lián)合制裁，隨后日本管制條例陸續(xù)披露、定稿并于7月23日正式實施,Nikon的高端DUV受限。3月8日荷蘭政府公告擬對華限制出口“最先進”的DUV光刻設(shè)備，6月30日正式出臺管制措施，并定于9月1日正式落地。自3月以來，ASML一直將“最先進”理解為NXT:2000i及之后的浸沒式設(shè)備，即上述機臺無法出貨，1980Di不受影響，且9月1日后無法再發(fā)貨。而從路透社最新報道來看，有明顯超預(yù)期的表現(xiàn),一是中國大陸客戶可以收到套刻精度、產(chǎn)率更高的機臺;二是延長了出貨的時間窗，有望獲得更多機臺。
◆中國大陸晶圓廠積極準備光刻機，保障后續(xù)產(chǎn)能規(guī)劃
2023Q2，ASML共確收39臺浸沒式DUV (22Q2為21臺，23Q1為25臺)，占設(shè)備總收入的49%; 23Q2公司來自中國大陸的收入約13.5億歐元，同比+225%，環(huán)比+215%，占比飆升至24%。且公司積壓的380億歐元在手訂單中(截至23Q2末)，中國大陸的積壓量超過20%。從ASML的業(yè)績可見，中國大陸的諸多Fab正積極采購以滿足后續(xù)擴產(chǎn)需求。據(jù)我們統(tǒng)計，未來3年，中國大陸晶圓產(chǎn)能有望以遠超行業(yè)的速度增長，23-25年同比增長18.8%/19.6%/17.4%，自主產(chǎn)能逐步爬坡，到2025年8&12英寸的自主產(chǎn)能占比將提升至17%。
◆成熟制程擴產(chǎn)無憂，先進制程有望突破，直接利好上游設(shè)備、材料。臺積電第一代7nm工藝N7是基于NXT:1980i+多重曝光(SADP/SAQP)實現(xiàn)的。光刻機性能的三大核心指標分別是分辨率(CD)、套刻精度(overlay)、和產(chǎn)率(throngput，wph)。ASML最新推出的先進浸沒式DUVNXT:2100i，單次曝光的分辨率與1980Di保持一致，但套刻精度較1980Di有明顯的提升，DCO(單設(shè)備套刻精度)從1.6nm提升至0.8nm,MMO（混合套刻精度)從2.5nm提升至1.3nm，產(chǎn)率從275wph提升至295wph。整體而言，更有利于實現(xiàn)多重曝光，且效率更高，且2100i尤其適用于DRAM制造。我們認為，光刻機是目前國內(nèi)最“卡脖子”的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一，本次延長先進光刻機出貨，國內(nèi)成熟晶圓廠可以順利擴產(chǎn)，且先進制程突破可期;疊加近期華為Mate60的王者回歸，也提振了板塊的投資信心，建議積極布局半導(dǎo)體設(shè)備&材料環(huán)節(jié)。
◆從長期看，光刻機自主可控仍為大勢。
盡管荷蘭光刻機制裁的情況好于預(yù)期，但明年后，高端光刻機將斷供;且據(jù)此前彭博社報道，ASML未來被限制為受控設(shè)備進行維護、修理和提供備件的隱憂仍在。在此情況下，無論是整機自研配套零部件，或是備件更換都會更多依賴國內(nèi)零部件供應(yīng)商。且光刻機零部件成本占比高、市場空間大,2022年ASML設(shè)備收入154億歐元，產(chǎn)品相關(guān)的供應(yīng)鏈支出86億歐元，超過5成。我們認為從長期看，光刻機上游零部件依舊具備投資價值。
◆建議關(guān)注
1)半導(dǎo)體設(shè)備:北方華創(chuàng)、中微公司、芯源微、拓荊科技、華海清科;
2）半導(dǎo)體材料:雅克科技、華特氣體、華懋科技、彤程新材、南大光電;
3)光刻機產(chǎn)業(yè)鏈:福晶科技(9月金股)、茂萊光學(xué)、福光股份、奧普光電。
◆風(fēng)險提示
市場競爭加劇、半導(dǎo)體設(shè)備&材料研發(fā)不及預(yù)期，半導(dǎo)體下行周期下晶圓廠擴產(chǎn)乏力。
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