>> 財通證券-量測設(shè)備行業(yè)報告：細(xì)致檢測攻堅克難，精準(zhǔn)度量引領(lǐng)進(jìn)步-221203
| 上傳日期： |
2022/12/4 |
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| 6059KB |
| 格式： |
pdf 共45頁 |
來源： |
財通證券 |
| 評級： |
看好 |
作者： |
張益敏 |
| 下載權(quán)限： |
此報告為加密報告 |
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集成電路生產(chǎn)工藝演進(jìn)，量測設(shè)備重要性提升：量測設(shè)備能在生產(chǎn)中監(jiān)測、識別、定位、分析工藝缺陷，對晶圓廠及時發(fā)現(xiàn)問題、改善工藝、提高良率，起到至關(guān)重要的作用。量測設(shè)備分為尺寸測量和缺陷檢測兩大類。集成電路工藝升級推動芯片生產(chǎn)的總步驟數(shù)不斷上升。如今芯片生產(chǎn)涉及超1000道工序，即使每道工序良率達(dá)到99.9%，芯片的最終良品率也只有36.8%，這對單個工序的良率提出了更高的要求。隨著集成電路繼續(xù)多層化、復(fù)雜化，量測設(shè)備的重要性日趨凸顯。
量測市場廣闊細(xì)分賽道多，海外巨頭一家獨大：量測設(shè)備開支占半導(dǎo)體前道設(shè)備整體開支的13%，2021年全球市場規(guī)模約為104億美元，先進(jìn)制程有望推動市場實現(xiàn)長遠(yuǎn)增長。量測設(shè)備種類多，存在膜厚、套刻誤差、關(guān)鍵尺寸、有圖形缺陷檢測、無圖形缺陷檢測、電子束等多個細(xì)分類賽道。美國科磊（KLA）為量測領(lǐng)域行業(yè)龍頭，產(chǎn)品覆蓋廣泛，市場占比52%,超過第二名應(yīng)用材料4倍以上。
量測設(shè)備自給率低，國產(chǎn)化需求量大時間緊迫：量測設(shè)備涉及高端光學(xué)和電子學(xué)技術(shù)，國內(nèi)積累相對薄弱；單個細(xì)分類設(shè)備市場小，重視程度不足，國內(nèi)企業(yè)之前長期單打獨斗。依據(jù)最新預(yù)估，中國大陸量測設(shè)備市場規(guī)模31.1億美元，國產(chǎn)化率只有2%。海外不斷施加限制措施，量測設(shè)備已成為光刻機(jī)之外威脅較大的短板。面對威脅，國內(nèi)晶圓廠積極引入國產(chǎn)量測設(shè)備進(jìn)行工藝驗證，有望推動國內(nèi)量測產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展。
國內(nèi)量測企業(yè)迎難而上，全面布局成長可期：精測電子、睿勵科學(xué)儀器、中科飛測、東方晶源等企業(yè)，憑借多年的研發(fā)經(jīng)驗和技術(shù)積累，逐步破繭而出。國內(nèi)量測企業(yè)多維布局，已實現(xiàn)對多種細(xì)分類設(shè)備的廣泛覆蓋，并在光學(xué)系統(tǒng)和檢測算法方面取得突破，多種設(shè)備達(dá)到28納米工藝節(jié)點，多個14納米級產(chǎn)品進(jìn)入工藝驗證階段；展望未來，國內(nèi)企業(yè)有望縮小與海外企業(yè)的差距并取得出色業(yè)績。
投資建議：建議關(guān)注精測電子（300567.SZ）、賽騰股份（603283.SH）、中微公司（688012.SH）（持股睿勵科學(xué)儀器）等企業(yè)。
風(fēng)險提示：全球半導(dǎo)體市場步入下行周期，晶圓廠削減資本開支；貿(mào)易保護(hù)主義等因素導(dǎo)致國內(nèi)晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期；量測技術(shù)難度大，企業(yè)研發(fā)進(jìn)展可能不及預(yù)期。
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