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核心觀點(diǎn)
　　零部件是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的支撐，市場(chǎng)規(guī)模近600億美元，中國(guó)大陸市場(chǎng)超千億人民幣：半導(dǎo)體行業(yè)遵循“一代技術(shù)、一代工藝、一代設(shè)備”的產(chǎn)業(yè)規(guī)律，而半導(dǎo)體設(shè)備的升級(jí)迭代，在很大程度上有賴于精密零部件的關(guān)鍵技術(shù)突破。半導(dǎo)體零部件按照服務(wù)對(duì)象，可以分為半導(dǎo)體設(shè)備商采購的零部件，以及晶圓廠直接采購的零部件?？紤]到兩部分需求，我們預(yù)計(jì)2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備商采購、晶圓廠直接采購的半導(dǎo)體零部件市場(chǎng)規(guī)模約為591億美元，中國(guó)大陸對(duì)應(yīng)市場(chǎng)規(guī)模約為161億美元（合1121億元人民幣）。
　　零部件行業(yè)市場(chǎng)集中度較低，歐美日企業(yè)為主：從全球角度看，過去20年發(fā)展歷程看，關(guān)鍵設(shè)備子系統(tǒng)的前10大供應(yīng)商市場(chǎng)地位較為穩(wěn)固，特別是金融危機(jī)之后的幾次重大并購，使得行業(yè)巨頭的地位更加穩(wěn)固。但總體上看，半導(dǎo)體零部件市場(chǎng)集中度仍然較低，碎片化特征明顯。根據(jù)我們測(cè)算，2020年前十大廠商收入規(guī)模約為75-80億美元，按照80億美元計(jì)算，對(duì)應(yīng)CR10約為21%。
　　技術(shù)壁壘較高，國(guó)產(chǎn)化率普遍較低。國(guó)產(chǎn)化率超過10%的零部件主要以石英件（Quartz）、氣體噴淋頭（Shower head）、邊緣環(huán)（Edge ring）等機(jī)械類部件為主：泵（Pump）、陶瓷件(Ceramics)等國(guó)產(chǎn)化率在5-10%，其余部件國(guó)產(chǎn)化率較低，尤其是閥件（Valve）、壓力計(jì)（Gauge）、O-ring密封圈等進(jìn)口依賴度較高?？傮w上看，國(guó)產(chǎn)化率較低的部件，通常為較復(fù)雜的電子和機(jī)械產(chǎn)品，開發(fā)技術(shù)難度大，對(duì)精度及材料要求高，如射頻電源、泵、壓力計(jì)、陶瓷件等；或者市場(chǎng)規(guī)模較小，市場(chǎng)碎片化特征明顯的部件，如壓力計(jì)、氣體流量計(jì)、O-ring等，根據(jù)芯謀研究數(shù)據(jù)，這些部件在中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模不超過2000-3000萬美元，且不同產(chǎn)品工作原理有很大差別，因此國(guó)內(nèi)廠商研發(fā)和生產(chǎn)的興趣不足。
　　市場(chǎng)碎片化特征明顯，部分產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)率先突破。國(guó)內(nèi)廠商在部分細(xì)分領(lǐng)域，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)率先突破。如射頻電源領(lǐng)域的英杰電氣；真空類零部件中，漢鐘精機(jī)實(shí)現(xiàn)真空泵領(lǐng)域出貨，新萊應(yīng)材在管路、閥件等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)快速突破，機(jī)電類產(chǎn)品中，華卓精科在EFEM、機(jī)械手等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)試生產(chǎn)；機(jī)械類零部件中，富創(chuàng)精密、江豐電子、華卓精科均實(shí)現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)，石英制品領(lǐng)域菲利華實(shí)現(xiàn)對(duì)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備上和國(guó)內(nèi)一線設(shè)備商石英制品的供貨。
　　投資建議：建議關(guān)注正帆科技、新萊應(yīng)材、漢鐘精機(jī)、菲利華等。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示：國(guó)際宏觀環(huán)境惡化風(fēng)險(xiǎn)、國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)更新迭代風(fēng)險(xiǎn)、宏觀經(jīng)濟(jì)及行業(yè)波動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)、政府補(bǔ)助及政策變動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)。