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射頻電源：半導(dǎo)體工藝控制的核心，應(yīng)用于CVD薄膜沉積、刻蝕等核心環(huán)節(jié)
　　1)什么是射頻電源？用來產(chǎn)生射頻電功率的電源。核心作用—通過產(chǎn)生高頻電磁場(chǎng)，將在低壓或常壓下的氣體進(jìn)行電離、形成等離子體。從而在腔體內(nèi)部實(shí)現(xiàn)不同的工藝需求。
　　2)下游應(yīng)用在哪？半導(dǎo)體薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗等前道工藝機(jī)臺(tái)的關(guān)鍵零部件之一，與工藝直接相關(guān)。射頻電源的應(yīng)用直接關(guān)系到腔體中的等離子體濃度、均勻度和穩(wěn)定度，影響到終端晶圓刻蝕、成膜的質(zhì)量。
　　3)為什么值得關(guān)注？此前受制于下游對(duì)半導(dǎo)體核心零部件替換意愿弱、且對(duì)性價(jià)比不敏感等因素，國產(chǎn)替代訴求較弱。2022年10月美國出臺(tái)的“半導(dǎo)體制造”最終用途限制措施，進(jìn)一步限制國內(nèi)半導(dǎo)體的發(fā)展，射頻電源已成為“卡脖子”環(huán)節(jié)之一，國產(chǎn)替代需求緊迫。
　　行業(yè)趨勢(shì)：全球/國內(nèi)270/70億元市場(chǎng)，國產(chǎn)化率極低、未來2年將提速
　　1)市場(chǎng)空間：受益于新增擴(kuò)產(chǎn)+存量替換市場(chǎng)需求，我們測(cè)算：預(yù)計(jì)2025年全球半導(dǎo)體射頻電源市場(chǎng)空間有望達(dá)270億元，國內(nèi)市場(chǎng)空間達(dá)70億元。未來隨著半導(dǎo)體資本開支的上行、市場(chǎng)空間有望持續(xù)打開。
　　2)競(jìng)爭(zhēng)格局：全球射頻電源主要被2家美系廠商寡頭壟斷。2022年美國MKS和AE合計(jì)市占率達(dá)87%，其余日德企業(yè)占據(jù)少量份額，國產(chǎn)化率極低。在半導(dǎo)體“卡脖子”背景下、國內(nèi)廠商英杰電氣、恒運(yùn)昌、北方微電子與下游設(shè)備廠共同成長(zhǎng)，在射頻電源產(chǎn)品供應(yīng)方面已實(shí)現(xiàn)批量訂單突破。
　　3)行業(yè)趨勢(shì)：我們認(rèn)為行業(yè)將受益于——海外供應(yīng)瓶頸+庫存消耗周期因素+半導(dǎo)體資本開支提速的3重因素疊加，半導(dǎo)體射頻電源國產(chǎn)替代進(jìn)程有望進(jìn)入加速期。預(yù)計(jì)半導(dǎo)體射頻電源的國產(chǎn)替代趨勢(shì)有望在未來1-2年內(nèi)加速推進(jìn)、實(shí)現(xiàn)全面國產(chǎn)替代。
　　海內(nèi)外產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)公司：預(yù)計(jì)國產(chǎn)半導(dǎo)體射頻電源公司將迎加速突破拐點(diǎn)——海外主要企業(yè)：
　　1)美國MKS：全球半導(dǎo)體射頻電源龍頭，覆蓋半導(dǎo)體/電子封裝/特殊工業(yè)領(lǐng)域
　　2)美國AE：半導(dǎo)體射頻電源龍頭，覆蓋半導(dǎo)體/工業(yè)/醫(yī)療/數(shù)據(jù)/通訊多領(lǐng)域
　　3)美國Comdel：并購XPPower，完善電源產(chǎn)品生態(tài)
　　4)日本DAIHEN：焊接機(jī)器人龍頭，延伸布局等離子射頻電源領(lǐng)域
　　5)德國TRUMPF霍廷格：光伏射頻電源龍頭，半導(dǎo)體射頻電源加速布局
　　——國內(nèi)主要企業(yè)：
　　1)英杰電氣：半導(dǎo)體射頻電源訂單加速突破、邁向泛半導(dǎo)體核心零部件龍頭
　　2)恒運(yùn)昌：半導(dǎo)體射頻電源領(lǐng)軍者，在拓荊PECVD設(shè)備已實(shí)現(xiàn)批量供貨
　　3)北方微電子：收購射頻電源資產(chǎn)，與半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)相協(xié)同
　　投資建議
　　重點(diǎn)推薦：英杰電氣（半導(dǎo)體電源龍頭）、北方華創(chuàng)（半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代領(lǐng)軍者）、中微公司（半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備龍頭）；拓荊科技（薄膜沉積設(shè)備龍頭）
　　建議關(guān)注：恒運(yùn)昌（拓荊科技參股）、北方微電子（北方華創(chuàng)子公司）等廠商
　　風(fēng)險(xiǎn)提示
　　半導(dǎo)體貿(mào)易管制風(fēng)險(xiǎn)；國產(chǎn)射頻電源研發(fā)驗(yàn)證不及預(yù)期；市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)加劇。