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MEMS工藝應(yīng)用廣泛，人形機(jī)器人有望帶來新增量
　　MEMS基于微細(xì)加工技術(shù)和半導(dǎo)體工藝，將微傳感器、微執(zhí)行器和電子線路、微能源相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)微觀尺度的傳感和控制。其常用材料為硅基材料，在特殊應(yīng)用場(chǎng)景下會(huì)采用聚合物基材料。MEMS產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)包括微型高效、功能集成化、可批量生產(chǎn)等，缺點(diǎn)是新產(chǎn)品研發(fā)流程長(zhǎng)、封裝難度高。目前MEMS已廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、汽車工業(yè)、生物醫(yī)療等領(lǐng)域，在人形機(jī)器人領(lǐng)域中，MEMS麥克風(fēng)、IMU和陣列式觸覺傳感器已獲得應(yīng)用。我們認(rèn)為，人形機(jī)器人對(duì)微型化、集成化和輕量化要求較高，與MEMS工藝的特點(diǎn)相契合，未來MEMS在人形機(jī)器人中的應(yīng)用將進(jìn)一步拓寬。
　　MEMS基于微型機(jī)械加工和半導(dǎo)體工藝，常用材料為硅基和聚合物基材料
　　MEMS（Micro-electro-mechanical systems）是將微傳感器、微執(zhí)行器和電子線路、微能源等相組合的微機(jī)電系統(tǒng)。MEMS的生產(chǎn)基于微型機(jī)械加工工藝和半導(dǎo)體工藝，包括硅平面加工和體加工工藝、LIGA工藝、切割封裝技術(shù)等。MEMS產(chǎn)品的尺寸通常在幾微米到幾毫米不等，不同于傳統(tǒng)芯片，MEMS涉及更加復(fù)雜的微型物理機(jī)械結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)傳感或控制功能。目前MEMS常用材料為硅基材料，在對(duì)生物兼容性、光學(xué)透明度和延展性要求較高的領(lǐng)域，也會(huì)采用聚酰亞胺、液晶聚合物等聚合物基材料。
　　MEMS產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)為高效率/高集成/大批量，缺點(diǎn)為新品研發(fā)久/封裝難度高
　　MEMS產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)包括微型高效、功能集成化、生產(chǎn)批量化。1）微型高效：MEMS產(chǎn)品具有體積小、精度高、重量輕、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短等優(yōu)點(diǎn)；2）功能集成化：MEMS工藝能夠以陣列的形式，將不同功能、不同敏感程度的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成為多功能的復(fù)雜微系統(tǒng)；3）可批量生產(chǎn)：通過微加工工藝可在晶圓上一次性制成大量相同的器件，有效降低制造成本。MEMS的缺點(diǎn)是針對(duì)每一種新產(chǎn)品需重新設(shè)計(jì)新工藝，研發(fā)流程較長(zhǎng)，涉及微觀力學(xué)、化學(xué)、材料學(xué)等多學(xué)科綜合知識(shí)；產(chǎn)品多樣性和要求差異性導(dǎo)致封裝和測(cè)試成本高。
　　在3C/汽車/生物醫(yī)療中應(yīng)用廣泛，符合人形機(jī)器人陣列式觸覺傳感器要求
　　MEMS已在消費(fèi)電子、汽車工業(yè)、生物醫(yī)療等眾多領(lǐng)域應(yīng)用，符合人形機(jī)器人陣列式觸覺傳感器要求。在消費(fèi)電子領(lǐng)域，MEMS射頻組件、加速度計(jì)、陀螺儀等器件被用于通信和運(yùn)動(dòng)檢測(cè)；在汽車領(lǐng)域，MEMS傳感器被應(yīng)用于安全氣囊、ESP系統(tǒng)和輪胎壓力檢測(cè)；在生物醫(yī)療領(lǐng)域，各類生物醫(yī)療傳感器和微型生物化學(xué)分析裝置被應(yīng)用于生理信號(hào)監(jiān)測(cè)和生化項(xiàng)目分析；在人形機(jī)器人領(lǐng)域，已實(shí)現(xiàn)MEMS麥克風(fēng)、IMU和陣列式觸覺傳感器的應(yīng)用。我們認(rèn)為，人形機(jī)器人對(duì)微型化、集成化和輕量化要求較高，與MEMS的特點(diǎn)相契合，未來MEMS在人形機(jī)器人中的應(yīng)用將進(jìn)一步拓寬。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示：人形機(jī)器人量產(chǎn)不及預(yù)期、MEMS應(yīng)用進(jìn)度不及預(yù)期、MEMS工藝進(jìn)步不及預(yù)期等。