SEMICON China大會(huì)如火如荼，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備備受矚目。3月26日-28日，SEMICON China 2025于上海召開，作為中國(guó)規(guī)模最大、最全面的半導(dǎo)體行業(yè)展覽會(huì)之一，今年SEMICONChina展覽面積達(dá)10萬平方米，全球1400多家知名企業(yè)參展，涵蓋芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試、EDA/IP、半導(dǎo)體設(shè)備及材料等全產(chǎn)業(yè)鏈。其中，半導(dǎo)體設(shè)備與材料領(lǐng)域表現(xiàn)活躍，廠商齊聚，集中展示了前沿成果與創(chuàng)新方案。同時(shí)，AI與新能源浪潮下，先進(jìn)封裝與第三代半導(dǎo)體熱度居高不下，在今年展會(huì)上備受矚目。1）北方華創(chuàng)：進(jìn)軍離子注入設(shè)備市場(chǎng)，發(fā)布首款離子注入機(jī)Sirius MC313，同時(shí)發(fā)布首款12英寸電鍍?cè)O(shè)備（ECP）Ausip T830，專為TSV銅填充設(shè)計(jì)。2）中微公司：發(fā)布12英寸邊緣刻蝕設(shè)備PrimoHalona，關(guān)鍵工藝全面覆蓋再進(jìn)一步，公司在等離子體刻蝕技術(shù)領(lǐng)域再次實(shí)現(xiàn)重大突破，反應(yīng)臺(tái)之間的刻蝕精度已達(dá)到0.2A（亞埃級(jí)）。3）拓荊科技：集中發(fā)布ALD系列、3D-IC及先進(jìn)封裝系列，CVD系列新品。 新凱來首次參展，發(fā)布三十余款設(shè)備。新凱來成立于2022年，致力于先進(jìn)半導(dǎo)體工藝裝備、量檢測(cè)裝備的開發(fā)與制造，打造可靠的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和平臺(tái)。在本次SEMICON China 2025展會(huì)期間，新凱來正式發(fā)布了6大類31款新品。我們認(rèn)為，新凱來的參會(huì)及后續(xù)產(chǎn)品量產(chǎn)或?qū)?guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)格局產(chǎn)生一定影響，但在半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代大背景下，關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域仍有較大替代空間，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商或都將受益于下游Fab擴(kuò)產(chǎn)投資拉動(dòng)的需求增長(zhǎng)，且新參與者的競(jìng)爭(zhēng)有利于國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商進(jìn)一步的技術(shù)突破，國(guó)產(chǎn)替代有望邁向新臺(tái)階。 國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備不斷突破帶來新品，國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程有望提速。我們看到在SEMICON China 2025展會(huì)上國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備、零部件和材料供應(yīng)商百花齊放，眾多參展公司產(chǎn)品不斷拓展，這一趨勢(shì)迎合了國(guó)內(nèi)晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)所帶來的需求，同時(shí)在美國(guó)半導(dǎo)體制裁不斷趨嚴(yán)的大環(huán)境中，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的突破有望加速替代，建議關(guān)注半導(dǎo)體設(shè)備、零部件和材料產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)質(zhì)公司：【設(shè)備】北方華創(chuàng)、中微公司、拓荊科技、精測(cè)電子等；【零部件】茂萊光學(xué)、福晶科技、富創(chuàng)精密等；【材料】鼎龍股份、安集科技、興森科技等；【Fab】中芯國(guó)際、華虹公司等。 風(fēng)險(xiǎn)提示：半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程不及預(yù)期，下游需求發(fā)展不及預(yù)期。
