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投資建議：首次覆蓋，給予“買入”評(píng)級(jí)。我們預(yù)計(jì)公司2026-2028年歸母凈利潤分別實(shí)現(xiàn)2.68/3.46/4.34億元，同比增長41.6%/29.3%/25.5%；對(duì)應(yīng)PE分別為56.1/43.4/34.6倍。受益于半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化加速及下游設(shè)備廠商訂單增長，公司工藝部件與結(jié)構(gòu)部件業(yè)務(wù)有望持續(xù)放量；同時(shí)涂層、陶瓷加熱盤等高附加值產(chǎn)品占比提升，驅(qū)動(dòng)盈利能力持續(xù)改善。公司2026–2028年估值低于可比公司平均水平，配置價(jià)值凸顯。
　　公司與行業(yè)情況：1）公司：公司是國內(nèi)少數(shù)實(shí)現(xiàn)7nm及以下刻蝕與薄膜沉積設(shè)備關(guān)鍵零部件量產(chǎn)配套的企業(yè)之一，深度綁定北方華創(chuàng)、中微公司、拓荊科技等頭部半導(dǎo)體設(shè)備客戶，產(chǎn)品覆蓋腔體、內(nèi)襯、勻氣盤、加熱器等核心工藝零部件，并持續(xù)推進(jìn)金屬加熱盤、陶瓷加熱盤及靜電吸盤等高附加值產(chǎn)品布局。2）行業(yè)：根據(jù)SEMI，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將由2020年的1,295億元增長至2025年的3,451億元。其中，薄膜沉積與刻蝕設(shè)備合計(jì)市場(chǎng)規(guī)模約1,518億元，占整體設(shè)備市場(chǎng)的44%。進(jìn)一步拆分設(shè)備價(jià)值量，反應(yīng)腔、VTM及其他核心零部件合計(jì)占比約59%，對(duì)應(yīng)市場(chǎng)空間約903億元。公司聚焦反應(yīng)腔、傳輸腔等核心零部件領(lǐng)域，受益于設(shè)備市場(chǎng)擴(kuò)容、國產(chǎn)替代深化及零部件價(jià)值量提升，成長空間廣闊。
　　存儲(chǔ)擴(kuò)產(chǎn)與先進(jìn)工藝驅(qū)動(dòng)設(shè)備多腔化，零部件價(jià)值量與業(yè)績彈性同步放大。1）設(shè)備多腔化已成為半導(dǎo)體設(shè)備的重要演進(jìn)方向，核心目標(biāo)是在有限潔凈室面積內(nèi)提升產(chǎn)能密度和設(shè)備吞吐效率，尤其適用于單期擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模普遍超過100k wpm的存儲(chǔ)產(chǎn)線。2）國內(nèi)頭部設(shè)備廠商正加速推進(jìn)多腔化升級(jí)，中微刻蝕設(shè)備已由1-2腔演進(jìn)至最高8腔平臺(tái)，北方華創(chuàng)刻蝕及PVD設(shè)備亦持續(xù)向多腔架構(gòu)升級(jí)。隨著刻蝕、沉積等工藝復(fù)雜度提升，多腔化將帶動(dòng)反應(yīng)腔、傳輸腔、內(nèi)襯及勻氣盤等核心零部件需求增長。作為國內(nèi)領(lǐng)先的腔體及核心零部件供應(yīng)商，公司有望充分受益于設(shè)備多腔化趨勢(shì)帶來的需求擴(kuò)容。
　　半導(dǎo)體設(shè)備零部件產(chǎn)業(yè)格局：全球市場(chǎng)高度集中，國產(chǎn)廠商加速突破高端配套壁壘，高端功能部件國產(chǎn)替代加速。金屬加熱器、陶瓷加熱器及靜電吸盤等核心功能部件長期由海外廠商主導(dǎo)，國產(chǎn)化率仍處于較低水平。其中，金屬精密零部件市場(chǎng)主要由Ferrotec、UCT及京鼎精密占據(jù)，靜電吸盤市場(chǎng)則由AMAT、LAM、SHINKO及TOTO等頭部廠商主導(dǎo)，市場(chǎng)集中度超過90%。隨著國內(nèi)設(shè)備廠商市場(chǎng)份額提升以及零部件企業(yè)逐步完成客戶驗(yàn)證并進(jìn)入批量導(dǎo)入階段，高端功能部件國產(chǎn)替代有望加速推進(jìn)。
　　核心假設(shè)：中國半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)行業(yè)景氣度持續(xù)；公司加熱盤及靜電吸盤產(chǎn)能釋放順利。
　　股價(jià)表現(xiàn)的催化劑：中國晶圓代工廠及存儲(chǔ)廠資本開支超預(yù)期；公司陶瓷加熱盤產(chǎn)品客戶驗(yàn)證取得突破，實(shí)現(xiàn)批量導(dǎo)入；公司新產(chǎn)能順利爬坡，高端產(chǎn)品放量。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示：中國晶圓代工廠及存儲(chǔ)原廠擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期風(fēng)險(xiǎn)；產(chǎn)品驗(yàn)證進(jìn)度不及預(yù)期風(fēng)險(xiǎn)；半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加劇風(fēng)險(xiǎn)。