>> 光大證券-半導(dǎo)體量測設(shè)備行業(yè)跟蹤：量測設(shè)備空間大格局好，上海精測、中科飛測等國產(chǎn)品牌蓄勢待發(fā)-221124
| 上傳日期： |
2022/11/25 |
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| 格式： |
pdf 共13頁 |
來源： |
光大證券 |
| 評級： |
買入 |
作者： |
楊紹輝 |
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此報告為加密報告 |
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半導(dǎo)體量測設(shè)備是第四大制程設(shè)備環(huán)節(jié)，誕生大公司KLA。量測設(shè)備的市場規(guī)模小于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備、光刻機，但大于清洗設(shè)備、CMP、離子注入、Track、電鍍等環(huán)節(jié)。2021年，量測設(shè)備全球市場規(guī)模104億美元，占WFE市場的11%，而刻蝕209億美元占23%，薄膜沉積207億美元占22%，光刻機171億美元占19%。量測設(shè)備環(huán)節(jié)龍頭KLA，2022自然年收入指引101.5-104.5億美元，同比增長24%-28%
國內(nèi)外半導(dǎo)體量測設(shè)備市場都被美日歐壟斷。根據(jù)中科飛測招股說明書，2020年全球半導(dǎo)體量測設(shè)備主要被KLA、Applied Materials、日立高科技、Lasertec、Onto、ASML、Nova、Camtek等壟斷；中國大陸市場同樣被KLA、AppliedMaterials、日立高科技、Lasertec、ASML等壟斷，其中美、日、歐的量測設(shè)備廠商份額分別不低于64%、11%、3%，美國廠商份額最高。
半導(dǎo)體量測設(shè)備國產(chǎn)化率低。根據(jù)精測電子最新投資者關(guān)系活動記錄，在前道量測領(lǐng)域，本土生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備供給率較低。2021年，國內(nèi)量測設(shè)備龍頭企業(yè)上海精測半導(dǎo)體、中科飛測銷售收入分別為1.11億元、3.61億元。國產(chǎn)廠商的收入規(guī)模較小，國產(chǎn)品牌的市場份額偏低。根據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)數(shù)據(jù)統(tǒng)計，本土產(chǎn)線量測設(shè)備仍主要依賴于KLA、Onto、應(yīng)用材料等進口品牌。
量測設(shè)備的國產(chǎn)品牌蓄勢待發(fā)。盡管相比刻蝕、PVD、CMP、清洗等環(huán)節(jié)，量測設(shè)備環(huán)節(jié)國產(chǎn)化率偏低，但我國涌現(xiàn)了一批優(yōu)質(zhì)的國產(chǎn)量測設(shè)備品牌，包括睿勵、東方晶源、上海精測半導(dǎo)體、中科飛測、埃芯半導(dǎo)體、南京中安、御微半導(dǎo)體，而天準(zhǔn)科技通過收購Muetec、賽騰股份通過收購Optima，布局量測業(yè)務(wù)。
精測電子布局多個量測設(shè)備，且獲得重復(fù)訂單。上海精測的膜厚產(chǎn)品、電子束量測設(shè)備已取得國內(nèi)一線客戶的批量訂單；明場光學(xué)缺陷檢測設(shè)備已取得突破性訂單；OCD設(shè)備獲得多家一線客戶的驗證通過，且已取得部分訂單；半導(dǎo)體硅片應(yīng)力測量設(shè)備也取得客戶訂單，其余儲備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及拓展的過程中。截至2022年11月11日，精測電子公布子公司上海精測在過去12個月內(nèi)中標(biāo)某客戶3.38億元訂單。
投資建議：建議關(guān)注半導(dǎo)體前道量測設(shè)備廠商中微公司、天準(zhǔn)科技、賽騰股份、精測電子。
中微公司：參股的睿勵科學(xué)儀器，主要產(chǎn)品包括光學(xué)膜厚測量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測設(shè)備，以及硅片厚度及翹曲測量設(shè)備等，2021年睿勵銷售收入0.41億元。
精測電子：膜厚產(chǎn)品（含集成式膜厚產(chǎn)品）、電子束、明場晶圓有圖形缺陷檢測、OCD量測等設(shè)備產(chǎn)品和相關(guān)技術(shù)通過自主研發(fā)均實現(xiàn)技術(shù)突破，獲得了國內(nèi)一線客戶的批量訂單或驗證通過。2021年上海精測銷售收入1.11億元。
天準(zhǔn)科技：公司自主研發(fā)的精密測量儀器，測量精度達到0.3微米，與國際最先進同類產(chǎn)品精度相當(dāng)。2021年公司收購德國MueTec 100%股權(quán)，布局晶圓的OCD、Overlay等尺寸測量，以及晶圓的宏觀和微觀缺陷檢測設(shè)備。22H1在半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，實現(xiàn)營業(yè)收入2.2億元。
賽騰股份：公司收購全球領(lǐng)先晶圓檢測設(shè)備供應(yīng)商日本OPTIMA，切入半導(dǎo)體業(yè)務(wù)，布局晶圓邊緣檢測、晶圓缺陷檢測、晶圓正面/背面檢測、針孔缺陷檢測等。2021年公司半導(dǎo)體板塊營收2.17億，增速良好；毛利率高達45%，維持高位。
風(fēng)險分析：外部環(huán)境不確定性風(fēng)險，技術(shù)迭代風(fēng)險，美國進一步限制關(guān)鍵設(shè)備和零部件出口的風(fēng)險。
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