>> 中航證券-電子行業(yè)周報：推動產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展，光刻機乃重中之重-230319
| 上傳日期： |
2023/3/20 |
大小： |
4288KB |
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pdf 共17頁 |
來源： |
中航證券 |
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作者： |
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電子 |
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報告摘要
◆行情回顧
本周電子(申萬)板塊指數(shù)周漲跌幅為+1.2%，在申萬一級行業(yè)漲跌幅中排名第5。電子行業(yè)(申萬一級)漲幅居前，跑贏上證指數(shù)0.54pct，跑贏滬深300指數(shù)1.38pct。電子行業(yè)PE處于近五年25.1%的分位點，電子行業(yè)指數(shù)處于近五年51.2%的分位點
伴隨著兩會的召開,國內集成電路的發(fā)展引發(fā)業(yè)界的高度關注。
本周工信部提出:壯大數(shù)字經(jīng)濟核心產(chǎn)業(yè)，推動集成電路、上業(yè)牧1十亞同質量發(fā)展;國資委提出:更大力度布局前瞻性戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),在集成電路、工業(yè)母機等領域加快補短板強弱項。光刻機作為“卡脖子”關鍵環(huán)節(jié)，也是市場關注的焦點。
光刻機:半導體制造業(yè)皇冠上的明珠，技術壁壘極高。
光刻(Lithography)技術是指在特殊波長光線或電子束作用下，借助光刻膠，將設計在掩膜版上的集成電路圖形轉移到基片（硅片)上的圖形精密表面加工技術。光刻機是光刻工藝的核心設備，是精密光學、精密運動學、高精度微環(huán)境控制、算法、微電子等先進技術的集大成者。光刻機的四大核心模組分別為光源模組、照明光學模組、光罩模組和晶圓模組。其中曝光系統(tǒng)、物鏡、工件臺等成本占比較高。
高端光刻機市場ASML一家獨大，國產(chǎn)光刻機曙光初顯。
根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)測算，2022年全球集成電路用光刻機市場規(guī)模約180億美元，中國大陸光刻機市場約30億美元。從ASML.Canon、Nikon三家頭部光刻機廠商出貨機臺數(shù)來看，ASML一家壟斷高端EUV市場，在浸沒式DUV設備(ArFi)、ArF光源DUV設備分別占95%、87%,
上海微電子(SMEE)在光刻機領域有多年積累，目前最先進的前道光刻設備SSA600/20步進掃描投影光刻機，采用ArF光源，4倍縮小倍率的投影物鏡，可滿足IC前道90nm光刻工藝要求。2017年公司承擔的02重大科技專項任務“浸沒光刻機關鍵技術預研項目”通過了驗收，目前公司正推進ArFi DUV的研發(fā)，若能順利跑通，將是國內晶圓制造全國產(chǎn)化產(chǎn)線的一大步邁進。除了SMEE外，中科院長春光機所、中科院光電所也參與光刻機研發(fā)。國內還有西安光機所、上海光機所等光學精密機械研究所。國產(chǎn)光刻機發(fā)展必將借助“舉國體制”之力，重點關注SMEE和幾大科研院所的研究進展以及其參股資產(chǎn)的投資機會。
◆整機進展未來可期，光刻機零部件先行。
ASML的上游供應商包括美國Cymer、日本Gigaphoton(光源)、德國Zeiss (光學鏡頭)、美國Lumentum(激光器）等，一臺光刻機由數(shù)萬個零件構成，以ASML的50%的毛利率為參考，國內光刻機零部件的市場空間超100億元。國內目前在光刻機產(chǎn)業(yè)鏈多環(huán)節(jié)已經(jīng)形成一定的配套能力，合力共贏，建議積極把握零部件的投資機會。非上市公司方面:上海微電子〔整機)、北京科益虹源（光源)、國望光學(光學鏡頭)、華卓精科（雙工件臺)、浙江啟爾機電（浸沒系統(tǒng));上市公司:茂萊光學(DUV光學透鏡)，炬光科技（光刻機用光場勻化器)，美?？萍肌脖Ｕ蠞崈舡h(huán)境)。以及有望參與國產(chǎn)光刻機研發(fā)，助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展的福晶科技(國內領先的光學晶體企業(yè)，配套激光器件一體化)，奧普光電〔光柵編碼器國內技術領先)。
◆建議關注
光刻機相關標的:茂萊光學、福晶科技、炬光科技、奧普光電、美?？萍?其他半導體設備:北方華創(chuàng)（本月金股)、拓荊科技、芯源微、華海清科;半導體材料:華懋科技、華特氣體、彤程新材、雅克科技等。
◆風險提示:
美國制裁蔓延至成熟制程、國內光刻機研發(fā)進展不及預期、產(chǎn)能建設進度不及預期。
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