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利潤0.66億元，同比+103.6%/環(huán)比+15.5%，維持“增持”評級。
　　 23Q1收入利潤同比高增長。23Q1收入2.88億元，同比+56.9%/環(huán)比-41%；毛利率45.3%，同比+6.6pcts/環(huán)比+10pcts；歸母凈利潤0.66億元，同比+103.6%/環(huán)比+15.5%；扣非歸母凈利潤0.57億元，同比+82.4%/環(huán)比+50%；扣非凈利率19.8%，同比+2.8pcts/環(huán)比+12pcts。
　　 23Q1盈利能力同環(huán)比提升明顯。公司23Q1毛利率同環(huán)比提升明顯，主要系后道產(chǎn)品采購成本降低，同時零部件國產(chǎn)化率提升也帶動設備毛利率提升；由于公司23Q1產(chǎn)品毛利率同環(huán)比提升，疊加嵌入式軟件產(chǎn)品退稅到賬款增加，因此公司23Q1盈利能力同環(huán)比也得到明顯提升。
　　 23Q1在手訂單依舊充沛。2022公司全年新簽訂單22億元，截至23Q1，公司合同負債5.2億元，較2022年底減少6500萬元，主要受部分客戶資金規(guī)劃、付款審批節(jié)奏、春節(jié)等因素影響；存貨14.4億元，較2022年底提升2.3億元。截至23Q1末，公司在手訂單依舊較為飽滿。
　　日本修改出口管制法令，預計加速涂膠顯影等設備國產(chǎn)化進程。2023年3月31日，日本新增6大類共23項半導體設備的出口管制。根據(jù)日本TEL，其在全球前道涂膠顯影設備市占率大約90%，本次出口管制預計也將加速芯源微前道Track國產(chǎn)化進程。
　　 2023年前道產(chǎn)品預計快速放量，晶圓鍵合等新品持續(xù)拓展。展望2023年，公司前道Track有望快速放量，I-line、KrF、ArF等成熟產(chǎn)品有望持續(xù)提升市占率，浸沒式機臺目前已向客戶推出。同時，臨時鍵合/解鍵合等新品也已有多個客戶的驗證和應用。
　　投資建議。芯源微2022年新簽訂單22億元，23Q1簽單符合預期，當前在手訂單較為飽滿，展望2023年，公司前道Track機臺有望持續(xù)放量，收入將保持健康增長態(tài)勢。我們預計公司2023/2024/2025年營收為18.75/24.11/29.44億元，對應PS為13.5/10.5/8.6倍，考慮到公司盈利能力逐漸增強，我們小幅上修歸母凈利潤至2.71/3.63/4.78億元，對應PE為93.3/69.7/52.9，維持“增持”評級。
　　風險提示：后續(xù)晶圓廠資本支出不達預期、客戶驗證及導入不及預期、新工藝研發(fā)進展不及預期、產(chǎn)能擴張進展不及預期的風險。