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投資要點(diǎn)：
　　事件：公司披露1Q23業(yè)績(jī)，超預(yù)期。公司1Q23實(shí)現(xiàn)營(yíng)收2.88億，同比高增57%；歸母凈利潤(rùn)6598萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)104%；扣非凈利5714萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)82%。
　　盈利能力提升，核心零部件國(guó)產(chǎn)化進(jìn)展加速。1Q23公司毛利率45.3%，同比提升6.6pcts，環(huán)比提升10.0pcts，均實(shí)現(xiàn)大幅提升。毛利率提升一方面因公司后道設(shè)備銷售占比有所提升，另一方面，高速機(jī)械手和高精度熱盤等核心零部件已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代，其余多項(xiàng)零部件亦正在逐步提高國(guó)產(chǎn)化率，在提升產(chǎn)業(yè)鏈安全可控的同時(shí)也將極大地降低成本。
　　 1Q23在手訂單再創(chuàng)歷史新高，前道產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)快速放量。2022年全年新簽訂單約22億元，1Q23在手訂單進(jìn)一步提升。4Q22、1Q23末合同負(fù)債分別為5.8億、5.2億，合同負(fù)債下降與客戶付款節(jié)奏有關(guān)，實(shí)際在手訂單保持充裕。
　　技術(shù)水平持續(xù)突破，高產(chǎn)能產(chǎn)品獲得客戶青睞。1）全新產(chǎn)品—浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)，搭載36spin工藝腔體，可在復(fù)雜光刻工藝下實(shí)現(xiàn)300片以上產(chǎn)能，可以覆蓋國(guó)內(nèi)28nm及以上所有工藝節(jié)點(diǎn)。2）前道物理清洗設(shè)備整體已經(jīng)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。3）后道先進(jìn)封裝領(lǐng)域行業(yè)龍頭，全新的BHP盤體平衡壓技術(shù)可應(yīng)用于chiplet等新興先進(jìn)封裝領(lǐng)域。4）化合物、MEMS、LED等小尺寸領(lǐng)域，大幅提升了去膠剝離機(jī)的極限產(chǎn)能。
　　預(yù)計(jì)2023年全球前道涂膠顯影設(shè)備市場(chǎng)空間有望接近30億美元，中國(guó)大區(qū)在全球涂膠顯影銷售額比重預(yù)計(jì)維持在40%左右。在光刻工序涂膠顯影設(shè)備領(lǐng)域，全球范圍內(nèi)日本東京電子（TEL）一家獨(dú)大，市場(chǎng)份額接近87%，芯源微作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的涂膠顯影設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)，逐步獲得國(guó)內(nèi)頭部客戶認(rèn)可，預(yù)計(jì)前道設(shè)備有望快速搶占國(guó)內(nèi)成熟制程市場(chǎng)份額，打破壟斷格局。
　　清洗設(shè)備領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)化比例呈快速提升趨勢(shì)。全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)將呈逐年增長(zhǎng)的趨勢(shì)，中國(guó)大區(qū)2023年將達(dá)到8.26億美元，占全球市場(chǎng)需求比重約27%。國(guó)內(nèi)布局清洗設(shè)備的企業(yè)主要包括盛美上海、至純科技、芯源微、北方華創(chuàng)，有望快速提升國(guó)產(chǎn)比例。
　　投資分析意見：上調(diào)盈利預(yù)測(cè)，維持“買入”評(píng)級(jí)?？紤]到公司新產(chǎn)品快速放量，上調(diào)2023-2024年盈利預(yù)測(cè)，并新增2025年盈利預(yù)測(cè)。預(yù)計(jì)2023-2025年歸母凈利潤(rùn)2.62、3.88、6.13億（原預(yù)測(cè)2023-2024年2.30、3.54億），同比增速分別為31%、48%、58%，對(duì)應(yīng)23年動(dòng)態(tài)PE 104倍，維持“買入”評(píng)級(jí)。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示：需求低于預(yù)期影響晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)節(jié)奏；設(shè)備驗(yàn)證結(jié)果不達(dá)預(yù)期；原材料采購(gòu)周期延長(zhǎng)風(fēng)險(xiǎn)。