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核心觀點(diǎn)：
　　 3月設(shè)備招標(biāo)積塔領(lǐng)跑，中芯國(guó)際基建項(xiàng)目招標(biāo)需求較大。2023年3月統(tǒng)計(jì)樣本中的晶圓產(chǎn)線合計(jì)產(chǎn)生97項(xiàng)招標(biāo)。以中芯國(guó)際、粵芯半導(dǎo)體、積塔半導(dǎo)體等產(chǎn)線招標(biāo)為主。招標(biāo)設(shè)備主要包括量測(cè)、離子注入和清洗設(shè)備，主要為積塔特色工藝生產(chǎn)線招標(biāo)。此外，基建項(xiàng)目主要為中芯國(guó)際和粵芯12英寸集成電路模擬特色工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目（三期）招標(biāo)。2023年1-3月，統(tǒng)計(jì)樣本中的晶圓產(chǎn)線合計(jì)招標(biāo)189項(xiàng)，其中，中芯國(guó)際、積塔半導(dǎo)體、粵芯的招標(biāo)量位居前三。整體而言，設(shè)備招標(biāo)以刻蝕、CVD、沉積、擴(kuò)散設(shè)備為主。
　　國(guó)產(chǎn)廠商卡位沉積類(lèi)、刻蝕、擴(kuò)散等設(shè)備領(lǐng)域，3月中標(biāo)設(shè)備國(guó)產(chǎn)比例為55%。中標(biāo)方面，2023年3月，統(tǒng)計(jì)樣本中的晶圓產(chǎn)線上合計(jì)中標(biāo)33臺(tái)設(shè)備，以量測(cè)、沉積、退火設(shè)備居多；國(guó)產(chǎn)設(shè)備整體中標(biāo)比例約55%，其中，沉積、PVD、CVD、PECVD、刻蝕、擴(kuò)散、檢測(cè)、涂膠顯影設(shè)備的國(guó)產(chǎn)中標(biāo)比例顯著。2023年1-3月，統(tǒng)計(jì)樣本中的晶圓產(chǎn)線合計(jì)中標(biāo)104臺(tái)設(shè)備，以刻蝕、量測(cè)、爐管設(shè)備居多；國(guó)產(chǎn)設(shè)備整體中標(biāo)比例約52%，其中，沉積、CVD、PECVD、外延、檢測(cè)、擴(kuò)散和氣液系統(tǒng)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)中標(biāo)比例較高。
　　萬(wàn)業(yè)企業(yè)、廣立微、上海微中標(biāo)設(shè)備數(shù)量居多，對(duì)應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例為52%。2023年3月，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商合計(jì)中標(biāo)12臺(tái)設(shè)備，供應(yīng)商以萬(wàn)業(yè)企業(yè)、廣立微、上海微為主。其中，萬(wàn)業(yè)企業(yè)中標(biāo)3臺(tái)沉積設(shè)備、1臺(tái)CVD設(shè)備，廣立微中標(biāo)2臺(tái)量測(cè)設(shè)備，上海微公司中標(biāo)2臺(tái)退火設(shè)備。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備在對(duì)應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例為52%。其中，北方華創(chuàng)的擴(kuò)散設(shè)備、拓荊科技的PECVD設(shè)備、萬(wàn)業(yè)企業(yè)的沉積設(shè)備在對(duì)應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例領(lǐng)先，分別為100%、100%、75%。2023年1-3月，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商合計(jì)中標(biāo)35臺(tái)設(shè)備，北方華創(chuàng)、萬(wàn)業(yè)企業(yè)中標(biāo)量領(lǐng)先。其中，北方華創(chuàng)中標(biāo)主要包括刻蝕、爐管、擴(kuò)散和外延設(shè)備，分別為10臺(tái)、1臺(tái)、1臺(tái)和1臺(tái)；萬(wàn)業(yè)企業(yè)中標(biāo)主要包括沉積、PVD和CVD設(shè)備，分別為5臺(tái)、1臺(tái)和2臺(tái)。2023年1-3月，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商合計(jì)中標(biāo)量在對(duì)應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例為43%。其中，北方華創(chuàng)的外延、擴(kuò)散設(shè)備、拓荊科技的PECVD設(shè)備在對(duì)應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例領(lǐng)先，均為為100%。
　　投資建議：建議關(guān)注在半導(dǎo)體核心工藝環(huán)節(jié)強(qiáng)勢(shì)卡位和今年有新品類(lèi)拓展的公司：北方華創(chuàng)、芯源微、拓荊科技、華海清科、中微公司*、盛美上海*、華峰測(cè)控*、長(zhǎng)川科技*、微導(dǎo)納米、至純科技*、萬(wàn)業(yè)企業(yè)等標(biāo)的。（帶*標(biāo)的為與廣發(fā)機(jī)械聯(lián)合覆蓋）
　　風(fēng)險(xiǎn)提示：市場(chǎng)需求不及預(yù)期，研發(fā)不及預(yù)期，市場(chǎng)開(kāi)拓不及預(yù)期。