>> 東吳證券-晶盛機電(300316)發(fā)布8英寸單片式碳化硅外延設備，技術(shù)突破迎新進展-230628
| 上傳日期： |
2023/6/28 |
大小： |
633KB |
| 格式： |
pdf 共3頁 |
來源： |
東吳證券 |
| 評級： |
買入 |
作者： |
周爾雙,劉曉旭 |
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事件：6月27日，公司微信公眾號發(fā)布推文，公司成功研發(fā)8英寸單片式碳化硅外延設備。
投資要點
成功發(fā)布8寸單片式碳化硅外延設備，可兼容6&8寸碳化硅外延：此前2月晶盛機電已成功發(fā)布了6寸雙片式碳化硅外延設備（型號為150D，產(chǎn)能600-650片），不到半年，再次成功推出8寸單片式碳化硅外延生長設備。（1）兼容6&8寸：8寸設備基于6寸的溫度高精度閉環(huán)控制、工藝氣體精確分流控制等技術(shù)，解決了腔體設計中的溫場均勻性、流場均勻性等控制難題，實現(xiàn)了成熟穩(wěn)定的8英寸碳化硅外延工藝，相比于6寸，8寸碳化硅晶圓未來通過產(chǎn)量和規(guī)模效益的提升，成本有望降低60%以上。（2）技術(shù)指標處于行業(yè)領(lǐng)先：目前晶盛機電在子公司晶瑞的8英寸襯底基礎(chǔ)上，已實現(xiàn)8英寸單片式碳化硅外延生長設備的自主研發(fā)與調(diào)試，外延的厚度均勻性1.5%以內(nèi)、摻雜均勻性4%以內(nèi)，未來外延設備迭代方向?qū)膯纹蕉嗥▎吻欢嗥交騿纹嗲皇剑黾訂挝划a(chǎn)能、降低生產(chǎn)成本。
外延設備已成功實現(xiàn)國產(chǎn)替代，晶盛機電為國內(nèi)龍頭設備商：以往碳化硅外延設備主要由意大利的LPE公司、德國AIXTRON公司以及日本Nuflare公司所壟斷，但國外龍頭的產(chǎn)能嚴重不足，Nuflare產(chǎn)能基本供給美國，LPE年產(chǎn)能約30臺，產(chǎn)能較為有限，AIXTRON由于設備穩(wěn)定性問題目前未完全進入國內(nèi)供應鏈。出于海外廠商產(chǎn)能瓶頸問題，晶盛機電6寸單片式碳化硅外延設備（型號為150A，產(chǎn)能350-400片）已實現(xiàn)國產(chǎn)替代。
碳化硅襯底片+外延設備雙輪驅(qū)動，打開公司新成長曲線：公司2017年開始碳化硅布局，目前已實現(xiàn)6英寸晶體和晶片量產(chǎn)，通過了部分客戶的送樣和驗證。2020年立項8寸襯底片研發(fā)，經(jīng)過一年的研發(fā)，成功生長出行業(yè)領(lǐng)先的8英寸N型碳化硅晶體，完成了6英寸到8英寸的擴徑和質(zhì)量迭代，23Q2將實現(xiàn)小批量生產(chǎn)。此次8英寸外延設備的成功研發(fā)，實現(xiàn)了晶盛機電在8寸碳化硅材料端+設備端的布局，進一步鞏固公司在第三代半導體設備領(lǐng)域的龍頭地位。
盈利預測與投資評級：光伏設備是晶盛機電的第一曲線，第二曲線是半導體設備放量，第三曲線是光伏耗材和半導體耗材的完全放量，我們維持公司2023-2025年的歸母凈利潤為47/58/70億元，對應PE為19/16/13倍，維持“買入”評級。
風險提示：新品拓展不及預期，研發(fā)進展不及預期。
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