久久一日本道色综合久久_国产最爽的av片在线观看_精品成人Av一区二区三区_94久久国产乱子伦精品免费_国产三级网站在线观看_和女邻居做爰在线观看_wymfw最新免费_国产强奷在线免费阅读_95在线观看视频

靜電卡盤是一種通過(guò)靜電力將工件吸附固定在卡盤表面的夾具。相較于傳統(tǒng)的機(jī)械卡盤與真空卡盤，靜電卡盤由于對(duì)工件損傷小、精度高等特點(diǎn)，被廣泛運(yùn)用于精密加工的場(chǎng)景。
　　靜電卡盤對(duì)多個(gè)半導(dǎo)體制造工藝的良率提升起重要作用。現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝中需要保證晶圓的平穩(wěn)固定。靜電卡盤由于吸附均勻、污染小、可作用于真空環(huán)境的特點(diǎn)在工藝良率的提升方面優(yōu)勢(shì)明顯。同時(shí)半導(dǎo)體工藝中對(duì)晶圓溫度控制是影響良率的關(guān)鍵，因此需要通過(guò)靜電卡盤對(duì)晶圓進(jìn)行加熱或散熱從而對(duì)晶圓溫度進(jìn)行精準(zhǔn)控制。在靜電卡盤實(shí)際工作過(guò)程中，同一溫控區(qū)內(nèi)的晶圓實(shí)際溫度可能會(huì)有不同。因此可通過(guò)增加溫控區(qū)的方式，對(duì)每一溫控區(qū)進(jìn)行單獨(dú)溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)晶圓整體的均熱性，提高半導(dǎo)體工藝的良率。
　　靜電卡盤市場(chǎng)穩(wěn)步增長(zhǎng)。據(jù)珂瑪科技公告，靜電卡盤占刻蝕機(jī)原材料采購(gòu)成本的12.7%。受益于半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)張，靜電卡盤市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng)。據(jù)QYResearch數(shù)據(jù)，2017-2021年全球靜電卡盤市場(chǎng)銷售額從15.5億美元增長(zhǎng)至17.1億美元，CAGR為2.5%。QYResearch預(yù)計(jì)2022-2028年全球靜電卡盤市場(chǎng)銷售額將由17.9億美元增長(zhǎng)至24.1億美元，CAGR為5.1%。
　　全球靜電卡盤市場(chǎng)由美系、日系制造商高度壟斷。美國(guó)的靜電卡盤制造商包括Applied Materials與Lam Research等，日本的靜電卡盤制造商包括Shinko、TOTO、NTK、Creative Technology Corporation等。據(jù)QYResearch數(shù)據(jù)，Applied Materials、Lam Research與Shinko分別占據(jù)了2021年全球靜電卡盤市場(chǎng)銷售額前三位，各自占比分別為43.86%/31.42%/10.20%。
　　國(guó)內(nèi)廠商處于起步階段，國(guó)產(chǎn)替代需求迫切。目前已有包括華卓精科、海拓創(chuàng)新、中瓷電子、富創(chuàng)精密、珂瑪科技等國(guó)家國(guó)內(nèi)企業(yè)開始了靜電卡盤相關(guān)的研發(fā)生產(chǎn)工作。其中華卓精科已開發(fā)出12寸PVD氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上破除了海外廠商在靜電卡盤領(lǐng)域的長(zhǎng)期壟斷局面，目前該產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)。
　　投資建議：建議關(guān)注已在靜電卡盤國(guó)產(chǎn)化替代方面取得進(jìn)展的華卓精科、中瓷電子、珂瑪科技。
　　華卓精科：12寸PVD氮化鋁靜電卡盤已實(shí)現(xiàn)小規(guī)模出貨，目前已向北方華創(chuàng)等客戶供貨，在一定程度上破除了海外廠商在靜電卡盤領(lǐng)域的長(zhǎng)期壟斷局面。
　　中瓷電子：建立了完善的精密陶瓷零部件制造工藝平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了加熱盤和靜電卡盤等技術(shù)難度高的精密零部件國(guó)產(chǎn)化，解決了國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)“卡脖子”問(wèn)題。
　　珂瑪科技：8寸刻蝕機(jī)用靜電卡盤正處于客戶測(cè)試階段，相關(guān)技術(shù)指標(biāo)已接近全球主流競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手水平。
　　風(fēng)險(xiǎn)分析：產(chǎn)品研發(fā)進(jìn)度不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)；下游需求不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)；國(guó)產(chǎn)化替代不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)。