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過(guò)程控制：半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中不同工藝之后，需要進(jìn)行尺寸測(cè)量、缺陷檢測(cè)等，用于工藝控制、良率管理，要求快速、準(zhǔn)確。過(guò)程控制設(shè)備主要包括測(cè)量類設(shè)備（Metrology）和缺陷（含顆粒）檢查類設(shè)備（Inspection）。量測(cè)包括套刻對(duì)準(zhǔn)的偏差測(cè)量、薄膜材料的厚度測(cè)量、晶圓在光刻膠曝光顯影后、刻蝕后和CMP工藝后的關(guān)鍵尺寸（CD）測(cè)量、其他如晶圓厚度，彎曲翹曲（Bow/Warp），1D/2D應(yīng)力stress，晶圓形貌等。檢測(cè)主要包括無(wú)圖形缺陷檢測(cè)、有圖像缺陷檢測(cè)、掩模版缺陷檢測(cè)、缺陷復(fù)檢。量測(cè)檢測(cè)主要作用就是生產(chǎn)出符合關(guān)鍵物理參數(shù)的芯片以及優(yōu)化工藝，提升良率。
　　過(guò)程控制全球半導(dǎo)體設(shè)備總市場(chǎng)占比約10.5%，持續(xù)有升級(jí)需求。2021年全球過(guò)程控制設(shè)備市場(chǎng)空間約104億美元，其中光刻相關(guān)（套刻誤差量測(cè)、掩膜板測(cè)量及檢測(cè)等）相關(guān)需求約28億美元、膜厚測(cè)量需求約17億美元、缺陷檢測(cè)需求約58億美元。過(guò)程控制市場(chǎng)中在全球半導(dǎo)體設(shè)備總市場(chǎng)（包括晶圓制造和封裝測(cè)試設(shè)備）占比約10.5%，相對(duì)穩(wěn)定，隨著制程微縮、3D堆疊推進(jìn)，晶圓制造對(duì)于量測(cè)、檢測(cè)需求不斷增加，精度要求也不斷提高，過(guò)程控制設(shè)備持續(xù)有升級(jí)需求。
　　全球過(guò)程控制市場(chǎng)主要由海外龍頭KLA主導(dǎo)。過(guò)程控制市場(chǎng)特點(diǎn)在于設(shè)備品類多，分產(chǎn)品市場(chǎng)較為分散。目前全球過(guò)程控制主要賽道由海外廠商主導(dǎo)并壟斷，KLA通過(guò)多年來(lái)外延內(nèi)生，產(chǎn)品系列超過(guò)14大類，在多個(gè)細(xì)分領(lǐng)域具有明顯優(yōu)勢(shì)，公司2023財(cái)年?duì)I收104.96億美金，同比增長(zhǎng)13.9%，綜合毛利率60%，在中國(guó)大陸量測(cè)檢測(cè)市占率超過(guò)50%，此外AMAT、ASML、Nova、Hitachi亦占據(jù)市場(chǎng)重要地位，2021年全球CR585.8%。
　　精測(cè)電子全面布局膜厚及OCD檢測(cè)、SEM檢測(cè)等技術(shù)方向。在膜厚方面，上海精測(cè)已經(jīng)推出了膜厚檢測(cè)設(shè)備、OCD檢測(cè)設(shè)備等多款半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備。技術(shù)演進(jìn)路徑從膜厚檢測(cè)的EFILM 200UF到EFILM 300IM，再到EFILM300SS/DS，再到OCD測(cè)量的EPROFILE 300FD，功能更加豐富，精密度逐漸提高。在電子光學(xué)SEM檢測(cè)方向，公司已于2020年底交付首臺(tái)電子束檢測(cè)設(shè)備、2021年交付首臺(tái)OCD設(shè)備。公司核心產(chǎn)品已覆蓋2xnm及以上制程，先進(jìn)制程的膜厚產(chǎn)品、OCD設(shè)備以及電子束缺陷復(fù)查設(shè)備已取得頭部客戶訂單。截至2023年中報(bào)披露日，精測(cè)電子半導(dǎo)體領(lǐng)域在手訂單約13.65億元。
　　中科飛測(cè)量測(cè)檢測(cè)營(yíng)收體量國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，產(chǎn)品線持續(xù)豐富。公司目前產(chǎn)品主要包括無(wú)圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備系列、圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備系列、三維形貌量測(cè)設(shè)備系列。檢測(cè)設(shè)備代表客戶包括中芯國(guó)際、士蘭集科、長(zhǎng)電科技、華天科技等，量測(cè)設(shè)備主要客戶有長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)電科技、華天科技、藍(lán)思科技等。2022年公司檢測(cè)設(shè)備共銷售82臺(tái)，量測(cè)設(shè)備銷售56臺(tái)。
　　睿勵(lì)科學(xué)成立于2005年，專注于半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備。睿勵(lì)的主營(yíng)產(chǎn)品為光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備。2021年4月，睿勵(lì)首臺(tái)自主研發(fā)的高精度光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備（WSD200）裝箱出貨。2021年6月，公司自主研發(fā)的第三代光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備TFX4000i交付設(shè)備。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示：國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)展不及預(yù)期、全球貿(mào)易紛爭(zhēng)影響、行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加劇。