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　　海外制裁不斷加劇，半導(dǎo)體供應(yīng)鏈有望重塑。隨著美國加強(qiáng)對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的限制，增加了審查的覆蓋面，從海外獲取核心零部件的難度及交付周期或?qū)⒀娱L，我們認(rèn)為將推動存量設(shè)備零部件替換，以及新增產(chǎn)線的國產(chǎn)化零部件及設(shè)備需求。而美國政府對中國成熟制程發(fā)起貿(mào)易調(diào)查，對國內(nèi)芯片廠商影響有限。國內(nèi)芯片市場需求龐大，從滿足國內(nèi)需求來看，擴(kuò)產(chǎn)仍有其對應(yīng)的市場，而受限于無法獲取先進(jìn)制程相關(guān)的生產(chǎn)設(shè)備，國內(nèi)先進(jìn)制程產(chǎn)能或持續(xù)占比較低，根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會（SIA）和BCG報(bào)告顯示，預(yù)計(jì)2032年中國將生產(chǎn)28%的10nm以下芯片，但先進(jìn)制程預(yù)計(jì)只有2%。從先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn)需求來看，國內(nèi)實(shí)現(xiàn)供應(yīng)鏈國產(chǎn)化是解決海外“卡脖子”問題的關(guān)鍵。
　　半導(dǎo)體設(shè)備零部件種類多樣，行業(yè)龍頭主要為海外廠商。半導(dǎo)體設(shè)備零部件按照材料，可分為硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金屬件、石墨件、塑料件、真空件、密封件等，品類之間的生產(chǎn)工藝、技術(shù)難點(diǎn)差異較大。根據(jù)芯謀研究數(shù)據(jù)，2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備零部件細(xì)分市場中，機(jī)械類占比最大（27%），真空系統(tǒng)次之（20%），其后是機(jī)電一體類（18%）、光學(xué)類（18%）、電氣類（13%）、儀器儀表（2%）。全球范圍內(nèi)來看，半導(dǎo)體零部件龍頭企業(yè)以海外廠商為主，通常聚焦在某一細(xì)分領(lǐng)域，國內(nèi)廠商可分品類逐步實(shí)現(xiàn)替代。
　　半導(dǎo)體設(shè)備零部件在設(shè)備成本占比較高，對應(yīng)市場空間廣闊。根據(jù)中微公司招股說明書，直接材料約占公司設(shè)備成本的90%以上，假設(shè)半導(dǎo)體設(shè)備毛利率為45%，則半導(dǎo)體零部件市場約為設(shè)備市場規(guī)模的49.5%。以2023年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模（1009億美元）測算，對應(yīng)全球半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場規(guī)模約為499億美元，2023年中國半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場規(guī)模合計(jì)約為181億美元。而當(dāng)前國產(chǎn)零部件自給率仍然較低，除石英、套環(huán)等少數(shù)部件外，大部分零部件自給率不足10%?？煽啃詾殛P(guān)鍵壁壘，半導(dǎo)體零部件驗(yàn)證周期較長。
　　半導(dǎo)體零部件廠商有望受益于來自晶圓廠及設(shè)備廠雙重國產(chǎn)化機(jī)遇。從海外制裁加劇風(fēng)險(xiǎn)及供應(yīng)鏈安全考量，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備零部件廠商有望受益于1）品類擴(kuò)充及滲透率的提升，通過研發(fā)符合更先進(jìn)制程設(shè)備的產(chǎn)品，以及提高在國產(chǎn)設(shè)備中的滲透率，公司市占率有望持續(xù)提升；2）國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商市占率提升，下游擴(kuò)產(chǎn)采購國產(chǎn)零部件比例提升。參照臺積電南京廠擴(kuò)產(chǎn)2萬片16nm芯片產(chǎn)能所需的刻蝕設(shè)備數(shù)量，我們測算對應(yīng)的零部件（腔體、內(nèi)襯、加熱器等）價(jià)值量約為7787萬元。
　　投資建議：國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備零部件廠商不斷實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破及品類擴(kuò)充，建議關(guān)注：1）國內(nèi)先進(jìn)陶瓷結(jié)構(gòu)件核心供應(yīng)商：珂瑪科技；2）刻蝕、沉積核心設(shè)備零部件供應(yīng)商：先鋒精科；3）半導(dǎo)體金屬精密零部件：富創(chuàng)精密；4）國內(nèi)半導(dǎo)體級真空管道、管件、閥門供應(yīng)商；新萊應(yīng)材。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示：下游行業(yè)波動的風(fēng)險(xiǎn)；研發(fā)投入不足導(dǎo)致技術(shù)被趕超或替代的風(fēng)險(xiǎn)。