>> 方正證券-華海清科(688120)公司跟蹤報告：深化“裝備+服務(wù)”平臺化布局，核心新品產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展順利-250703
| 上傳日期： |
2025/7/3 |
大小： |
361KB |
| 格式： |
pdf 共4頁 |
來源： |
方正證券 |
| 評級： |
強(qiáng)烈推薦 |
作者： |
馬天翼,王海維 |
| 下載權(quán)限： |
此報告為加密報告 |
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華海清科踐行“裝備+服務(wù)”的平臺化發(fā)展戰(zhàn)略。公司CMP設(shè)備具有較高市占率，減薄機(jī)和低能大束流離子注入裝備均實(shí)現(xiàn)多臺驗(yàn)收，同時擬將晶圓再生產(chǎn)能擴(kuò)充至60萬片/月，顯著受益晶圓廠加速擴(kuò)產(chǎn)趨勢。
CMP：Universal-H300已獲得批量重復(fù)訂單，并實(shí)現(xiàn)規(guī)?；鲐?；面向第三代半導(dǎo)體客戶的專用CMP裝備研制成功并已發(fā)往客戶端驗(yàn)證；新簽訂單中先進(jìn)制程的訂單已實(shí)現(xiàn)較大占比，公司部分先進(jìn)制程CMP裝備在國內(nèi)多家頭部客戶實(shí)現(xiàn)全部工藝驗(yàn)證。
減薄機(jī)：公司減薄裝備已覆蓋存儲、CIS、先進(jìn)封裝等多種工藝客戶，積極開發(fā)更高WPH、更高TTV的全新機(jī)型。12英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile–GP300已實(shí)現(xiàn)多臺驗(yàn)收，滿足客戶批量化生產(chǎn)需求；12英寸晶圓減薄貼膜一體機(jī)Versatile–GM300驗(yàn)證進(jìn)展順利。
離子注入：全資子公司芯崳公司的低能大束流離子注入裝備已實(shí)現(xiàn)多臺驗(yàn)收。根據(jù)收購時的業(yè)績承諾，若2025年芯崳公司營收不低于1.05億元可無需進(jìn)行業(yè)績補(bǔ)償。
濕法：公司已形成覆蓋大硅片、化合物半導(dǎo)體等多個制造領(lǐng)域的系列清洗裝備布局。用于SiC清洗的HSC-S1300清洗裝備和用于大硅片終端清洗的HSC-F3400清洗裝備先后通過驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)銷售。用于濕法工藝設(shè)備中研磨液、清洗液等化學(xué)品供應(yīng)的SDS/CDS供液系統(tǒng)設(shè)備已獲得批量采購。
膜厚測量：應(yīng)用于Cu、Al、W、Co等金屬制程的薄膜厚度測量裝備已發(fā)往多家客戶驗(yàn)證，已實(shí)現(xiàn)小批量出貨，部分機(jī)臺已通過驗(yàn)收。
劃切：用以解決存儲芯片、CIS、先進(jìn)封裝等多種工藝晶圓減薄時邊緣崩邊問題的12英寸晶圓邊緣切割裝備已發(fā)往多家客戶進(jìn)行驗(yàn)證。
邊緣拋光：12英寸晶圓邊緣拋光裝備已發(fā)往多家客戶進(jìn)行驗(yàn)證，并已在存儲芯片、先進(jìn)封裝等關(guān)鍵制程中得到應(yīng)用。
晶圓再生：公司目前已成為具備Fab裝備及工藝技術(shù)服務(wù)的晶圓再生專業(yè)代工廠，獲得多家大生產(chǎn)線批量訂單并長期穩(wěn)定供貨，現(xiàn)有晶圓再生產(chǎn)能已達(dá)約20萬片/月。為有效搶抓晶圓廠加速擴(kuò)產(chǎn)的窗口期，擴(kuò)大先發(fā)優(yōu)勢和規(guī)模效應(yīng)，公司擬在江蘇省昆山市建設(shè)晶圓再生擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目，規(guī)劃擴(kuò)建總產(chǎn)能為40萬片/月，其中首期建設(shè)產(chǎn)能為20萬片/月，首期投資預(yù)計(jì)不超5億元人民幣。
投資建議：華海清科踐行“裝備+服務(wù)”的平臺化發(fā)展戰(zhàn)略，CMP設(shè)備具有較高市占率，減薄機(jī)和低能大束流離子注入裝備均實(shí)現(xiàn)多臺驗(yàn)收，同時擬將晶圓再生產(chǎn)能擴(kuò)充至60萬片/月，顯著受益晶圓廠加速擴(kuò)產(chǎn)趨勢。我們預(yù)計(jì)公司2025-2027年?duì)I收分別為45.03/58.60/73.60億元，歸母凈利潤分別為12.90/16.82/21.21億元。維持“強(qiáng)烈推薦”評級。
風(fēng)險提示：下游終端市場需求不及預(yù)期風(fēng)險，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品無法如期產(chǎn)業(yè)化風(fēng)險，市場競爭加劇風(fēng)險，產(chǎn)能擴(kuò)充進(jìn)度不及預(yù)期的風(fēng)險，系統(tǒng)性風(fēng)險等
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