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核心觀點(diǎn)
　　Q3營(yíng)收符合預(yù)期，利潤(rùn)水平超預(yù)期。公司前三季度實(shí)現(xiàn)營(yíng)收近9億元，同比增64%，實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)1.4億元，同比增169%。其中第三季度公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入3.9億元，同比增100%，實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)0.74億元，同比增309%，部分受益于收到A公司支付的商業(yè)秘密維權(quán)賠償金0.4億元，扣非歸母凈利潤(rùn)0.33億元，同比增104%，三季度毛利率40.1%，相比二季度變化幅度較小。
　　前道涂膠顯影機(jī)：I-line、KrF產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)批量銷售，ArFi產(chǎn)品有望逐步貢獻(xiàn)成長(zhǎng)新動(dòng)能。市場(chǎng)開拓進(jìn)展順利：隨著公司前道涂膠顯影機(jī)各項(xiàng)技術(shù)的突破與進(jìn)步，前道涂膠顯影機(jī)產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力不斷增強(qiáng)，客戶認(rèn)可度持續(xù)提升。I-line、KrF機(jī)臺(tái)獲得了多家頭部晶圓廠的小批量重復(fù)訂單，客戶涵蓋中芯京城、上海華力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫、廈門士蘭集科等國(guó)內(nèi)主流客戶。工藝技術(shù)持續(xù)取得突破：光刻膠涂覆缺陷及成本控制技術(shù)、在線式工藝缺陷檢測(cè)技術(shù)均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。產(chǎn)品平臺(tái)不斷迭代升級(jí)，拓寬護(hù)城河：公司在前道涂膠顯影機(jī)的高產(chǎn)能架構(gòu)方面推進(jìn)順利，已應(yīng)用完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新平臺(tái)，通過工藝單元雙側(cè)對(duì)稱布置及機(jī)械手雙側(cè)同時(shí)取片，滿足光刻機(jī)不斷提升的產(chǎn)能需求，并可覆蓋浸沒式等前沿光刻技術(shù)并向下兼容。
　　前道清洗機(jī)：物理清洗機(jī)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，化學(xué)清洗機(jī)研發(fā)進(jìn)展順利。公司生產(chǎn)的集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域用物理清洗機(jī)Spin Scrubber設(shè)備已經(jīng)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平并成功實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代，獲得了中芯國(guó)際、上海華力、青島芯恩、武漢新芯、北京燕東等多個(gè)前道大客戶的批量重復(fù)訂單，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率穩(wěn)步提升?；瘜W(xué)清洗領(lǐng)域，公司正研究解決濕法設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)，制作樣機(jī)進(jìn)行工藝驗(yàn)證，進(jìn)一步優(yōu)化單元和整機(jī)設(shè)計(jì)，提高產(chǎn)品的可靠性、穩(wěn)定性，進(jìn)一步提升產(chǎn)品的技術(shù)等級(jí)和應(yīng)用范圍。
　　持續(xù)完善銷售、技術(shù)服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，業(yè)務(wù)拓展有望繼續(xù)加速。公司以沈陽(yáng)為銷售總部，在上海建立了全資子公司，將實(shí)現(xiàn)靠近客戶、靠近人才、靠近供應(yīng)鏈的戰(zhàn)略目標(biāo)。同時(shí)公司在蘇州、昆山、武漢、中國(guó)臺(tái)灣等地設(shè)有辦事處，銷售網(wǎng)絡(luò)覆蓋長(zhǎng)三角、珠三角及中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)等產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)區(qū)域，建立了快速響應(yīng)的銷售和技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)
　　盈利預(yù)測(cè)與投資建議
　　我們預(yù)測(cè)公司22-24年歸母凈利潤(rùn)分別為1.86、2.45、3.75億元（原22-24年預(yù)測(cè)為1.40、2.37、3.54億元，上調(diào)了營(yíng)業(yè)外收入和毛利率、管理費(fèi)用率假設(shè)），由于前道涂膠顯影設(shè)備國(guó)產(chǎn)化空間巨大，我們采用絕對(duì)估值法（FCFF），給予325.82元目標(biāo)價(jià)，維持買入評(píng)級(jí)。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示
　　半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)景氣度不及預(yù)期；客戶驗(yàn)證進(jìn)展不及預(yù)期；零部件斷供風(fēng)險(xiǎn)；盈利能力改善不及預(yù)期；市場(chǎng)份額提升不及預(yù)期。