>> 招商證券-芯源微(688037)推出浸沒式涂膠顯影新品，前道Track布局進一步完善-221218
| 上傳日期： |
2022/12/19 |
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| 格式： |
pdf 共3頁 |
來源： |
招商證券 |
| 評級： |
增持 |
作者： |
鄢凡,曹輝 |
| 下載權限： |
此報告為加密報告 |
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2022年12月17日，芯源微正式發(fā)布前道浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機新品FT（III）300。目前公司擁有offline、I-line、KrF、ArFi等機型，國內(nèi)前道涂膠顯影機龍頭地位進一步鞏固，長期增長動力充沛，維持“增持”評級。
公司正式發(fā)布浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機臺，可實現(xiàn)每小時300片以上產(chǎn)能。2022年12月17日，芯源微正式發(fā)布前道浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機新品FT（III）300，產(chǎn)品滿配36 Spin處理單元，搭載公司自主研發(fā)的雙向同步取放機械手，能夠匹配全球主流光刻機聯(lián)機生產(chǎn)，可在復雜工藝下實現(xiàn)300片以上產(chǎn)能。此外，機臺還搭載了公司開發(fā)的精確溫度調(diào)制（PTM）技術，使熱盤烘烤溫度均勻性達到業(yè)界領先水平；全新的Spin單元實時控制技術，可有效提升機臺運動控制及流體控制精度、響應性及穩(wěn)定性；通過仿真優(yōu)化設計整機流場，確保內(nèi)部微環(huán)境均勻穩(wěn)定，提升整機的潔凈度等級；全系列輔助功能單元，包含AOI、WEE系統(tǒng)等，可在線式檢測晶圓工藝缺陷，減少不良品流出。
公司前道Track產(chǎn)品矩陣進一步完善，將實現(xiàn)在前道晶圓加工環(huán)節(jié)28nm及以上工藝節(jié)點的全覆蓋。該款機型通過選配可全面覆蓋KrF、ArF dry、ArF浸沒式等多種光刻技術，也適用包括SOC、SOH、SOD等在內(nèi)的其他旋涂類應用。為應對未來光刻機產(chǎn)能的不斷提升，該機型還可擴充至更多處理單元，由目前的36 Spin擴展為48 Spin，產(chǎn)能提升到每小時360片。
前道Track多產(chǎn)品線獲得批量重復訂單，未來有望進一步推出前道化學清洗機。公司前道offline、I-line、KrF均量產(chǎn)，其中I-Line、KrF獲得多個頭部客戶批量訂單，如今ArFi機臺正式推出，鞏固公司國內(nèi)前道Track龍頭地位；公司前道物理清洗獲得大客戶批量重復訂單，未來將進一步推出前道化學清洗機，并預計逐步拓展中國臺灣及海外市場。
投資建議。芯源微正式推出前道浸沒式Track機臺，進一步鞏固國內(nèi)涂膠顯影龍頭地位，并且未來將進一步推出前道化學清洗機。展望未來2-3年，公司前道產(chǎn)品有望持續(xù)放量，收入將保持健康增長態(tài)勢，我們預計2022/23/24年公司營收為13.20/18.75/24.11億元，對應PS為13.1/9.2/7.2倍，同時預計2022/23/24年歸母凈利潤為1.89/2.38/3.12億元，對應PE為91.5/72.9/55.6，維持“增持”評級。
風險提示：后續(xù)晶圓廠資本支出不達預期、疫情反復、客戶驗證及導入不及預期、新工藝研發(fā)進展不及預期、產(chǎn)能擴張進展不及預期的風險。
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