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>> 方正證券-芯源微(688037)發(fā)布浸沒式高產能涂膠顯影機,全面覆蓋28nm以上多種光刻技術-221219
上傳日期:   2022/12/20 大?。?/td>   370KB
格式:   pdf  共4頁 來源:   方正證券
評級:   推薦 作者:   吳文吉
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事件:12月17日,公司發(fā)布前道浸沒式高產能涂膠顯影機新品FT(III)300。
  新機型:獨創(chuàng)對稱分布高產能架構,全面覆蓋28nm以上多種光刻技術。該機型采用公司獨創(chuàng)的對稱分布高產能架構,滿配36Spin處理單元,搭載公司自主研發(fā)的雙向同步取放機械手,可匹配全球主流光刻機聯(lián)機生產,可在復雜工藝下實現(xiàn)300片以上產能。該款機型通過選配可全面覆蓋I-line、KrF、ArF dry、ArF浸沒式等28nm以上節(jié)點多種光刻技術,也適用SOC、SOH、SOD等在內的其他旋涂類應用。為應對未來光刻機產能的不斷提升,該機型還可擴充至更多處理單元,由目前的36 spin擴展為48 spin,產能提升到360 WPH,同時實現(xiàn)在低占地面積下兼顧機臺易維護性,有效提升機臺維護效率。
  首臺浸沒式高產能機臺已驗證通過實現(xiàn)驗收,預計2023年實現(xiàn)批量訂單。公司首臺浸沒式高產能涂膠顯影機技術上已運付客戶端完成硬件指標、干濕運行顆粒、光阻膜厚均勻性、顯影線寬均勻性、光刻機聯(lián)機、in line聯(lián)機產能等各項認證;量產上,也與國際主流光刻機聯(lián)機作業(yè),完成了客戶端十余款光阻、多層layer量產驗證,均達到客戶量產指標。近期,該機臺已順利實現(xiàn)了驗收;預計明年該機型可實現(xiàn)批量訂單。
  在手訂單飽滿,加碼保障2024年40億+產能。22Q3期末公司合同負債6億元繼續(xù)保持歷史高水平;存貨12.9億元,創(chuàng)歷史新高;較高的合同負債與存貨均驗證公司在手訂單充沛,下游需求旺盛。產能上,目前公司沈陽飛云路廠區(qū)產能持續(xù)飽滿,彩云路廠區(qū)已穩(wěn)步達產,上海臨港新廠房計劃在春節(jié)前完成封頂;此外公司正規(guī)劃布局沈陽彩云路二期,預計至2024年公司總體產能可達到40億+。
  盈利預測和投資評級:我們預計公司2022-2024年營業(yè)收入分別為13.3/19.6/26.0億元,歸母凈利潤1.8/2.5/3.2億元,維持公司“推薦”評級。
  風險提示:(1)下游晶圓廠擴產不及預期;(2)中美貿易摩擦風險;(3)產品研發(fā)及市場推廣不及預期。
  
  
 
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