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本報告導讀：
　　公司PECVD設備優(yōu)勢明顯，同時積極推進SACVD設備和ALD設備，訂單高速增長，業(yè)績有望持續(xù)高增。
　　投資要點：
　　維持“增持”評級，維持目標價393.4元。公司PECVD加速增長，SACVD和ALD設備穩(wěn)步推進，22年業(yè)績預告略超預期，上調其2022-2024年EPS為2.74/4.23/5.85元（原預測2022-2024年為2.23/3.49/4.76元）?？紤]PECVD機臺優(yōu)勢明顯，國內產線滲透加速推進，給予其2023年19倍PS，目標價393.4元。
　　業(yè)績預告略超預期，在手訂單充足。預計22年實現營收16.5~17.2億元，同比增長117.7%~126.9%；歸母凈利潤3.3~4.0億元，同比增長381.9%~484.1%；扣非后歸母凈利潤1.6~1.9億元，扭虧為盈，同比約增加2.4~2.7億元。主要受益于設備需求的持續(xù)增加以及加大研發(fā)投入的情況下，期間費用率的下降，規(guī)模效應驅動盈利水平持續(xù)提高。
　　PECVD是業(yè)績增長的主要驅動力，滲透率和單機價值量均有望持續(xù)提升。PECVD市場空間在薄膜沉積設備中占比最大，超50億美元。公司PECVD業(yè)務占比超過90%，覆蓋所有薄膜材料，性能上業(yè)界口碑良好，出貨量上國內遙遙領先，新增產線滲透率將持續(xù)提升。多邊形高產能機臺+UVCure配置，將進一步拔高單機價值量。
　　SACVD、HDPCVD補齊Gap-fill業(yè)務，ALD引領先進工藝業(yè)務成長。Gap-fill業(yè)務：SACVD適用于40/28nm，機臺訂單數有望上雙位數，HDPCVD適用于130-55nm，已取得客戶訂單。ALD業(yè)務：國內整體仍處于0-1，公司已取得個位數出貨，處于領先態(tài)勢。
　　風險提示。下游晶圓產能擴充不及預期；新品產業(yè)化不及預期。