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事件：公司公告2022年實(shí)現(xiàn)營(yíng)收13.85億元，同比+67%；歸母凈利潤(rùn)2.00億元，同比+159%；扣非歸母凈利潤(rùn)1.37億元，同比+115%。
　　公司營(yíng)收保持快速成長(zhǎng)。公司22Q4實(shí)現(xiàn)收入4.88億元，同比+73%，保持高速成長(zhǎng)；歸母凈利潤(rùn)0.57億元，同比+135%。公司Q4銷售毛利率和凈利率環(huán)比有所下降，我們認(rèn)為可能受到銷售產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的影響。截至2022年末，公司合同負(fù)債為5.85億元，環(huán)比小幅下降，反映前期訂單往收入的轉(zhuǎn)化。22年，公司光刻工序涂膠顯影設(shè)備實(shí)現(xiàn)營(yíng)收7.57億元，同比+50%；單片濕法設(shè)備實(shí)現(xiàn)營(yíng)收5.50億元，同比+90%，受到清洗、去膠、濕法刻蝕產(chǎn)品的收入增長(zhǎng)推動(dòng)。
　　前道涂膠顯影設(shè)備完成28nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)全覆蓋。公司前道涂膠顯影機(jī)簽單實(shí)現(xiàn)了快速放量，其中offline、I-line、KrF機(jī)臺(tái)均實(shí)現(xiàn)批量銷售。浸沒(méi)式機(jī)臺(tái)已陸續(xù)獲得國(guó)內(nèi)多家知名廠商訂單，超高溫Barc機(jī)臺(tái)也成功實(shí)現(xiàn)了客戶導(dǎo)入。公司首臺(tái)浸沒(méi)式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)22Q4在國(guó)內(nèi)某知名客戶處完成驗(yàn)證，標(biāo)志著公司已完成在晶圓加工環(huán)節(jié)28nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)全覆蓋。此外，公司持續(xù)對(duì)前道涂膠顯影機(jī)的核心零部件進(jìn)行自主或聯(lián)合研發(fā)，其中高速機(jī)械手和高精度熱盤(pán)等多種核心零部件已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。
　　公司后道設(shè)備批量應(yīng)用于大廠客戶，成功開(kāi)發(fā)Chiplet所需鍵合機(jī)。2022年公司后道先進(jìn)封裝領(lǐng)域用涂膠顯影設(shè)備、單片式濕法設(shè)備實(shí)現(xiàn)批量銷售超百臺(tái)套，近年來(lái)已作為主流機(jī)型批量應(yīng)用于臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技等國(guó)內(nèi)一線大廠，已經(jīng)成為客戶端的主力量產(chǎn)設(shè)備。公司加深與盛合晶微、長(zhǎng)電紹興等國(guó)內(nèi)新興封裝勢(shì)力的合作關(guān)系，成功批量導(dǎo)入各類設(shè)備。此外，針對(duì)Chiplet封裝技術(shù)路線中的鍵合工藝，公司已成功研發(fā)臨時(shí)鍵合機(jī)、解鍵合機(jī)產(chǎn)品，目前臨時(shí)鍵合機(jī)正在進(jìn)行客戶端驗(yàn)證。
　　前道物理清洗保持優(yōu)勢(shì)，化學(xué)清洗機(jī)研發(fā)測(cè)試中。公司前道物理清洗機(jī)具備市場(chǎng)領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，并在2022年實(shí)現(xiàn)批量銷售近百臺(tái)套。目前公司前道物理清洗機(jī)已廣泛應(yīng)用于一線大廠，成為國(guó)內(nèi)晶圓廠baseline產(chǎn)品。公司新產(chǎn)品化學(xué)清洗機(jī)在沈陽(yáng)廠區(qū)研發(fā)測(cè)試中，且芯源微上海子公司的廠區(qū)建設(shè)進(jìn)入了機(jī)電設(shè)備安裝階段，將在23Q4投入生產(chǎn)。屆時(shí)化學(xué)清洗機(jī)將成為芯源微新的增長(zhǎng)點(diǎn)。
　　投資建議：我們預(yù)計(jì)公司2023-2025年?duì)I收19.95/27.05/36.55億元，對(duì)應(yīng)PS分別為13/10/7倍，歸母凈利潤(rùn)分別為2.65/3.58/5.10億元，對(duì)應(yīng)PE分別為102/75/53倍。公司作為半導(dǎo)體設(shè)備細(xì)分領(lǐng)域龍頭，具有較好成長(zhǎng)性，維持“買入”評(píng)級(jí)。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示：公司新產(chǎn)品研發(fā)進(jìn)度不及預(yù)期、下游晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)放慢、競(jìng)爭(zhēng)加劇風(fēng)險(xiǎn)。