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投資要點(diǎn)：
　　公告：2022營(yíng)業(yè)收入30.5億，同比增長(zhǎng)46.32%，主要系集成電路業(yè)務(wù)增長(zhǎng)；扣除非經(jīng)常性損益后的歸母凈利潤(rùn)2.85億元（yoy +76%），主要系公司業(yè)務(wù)增長(zhǎng)所致的利潤(rùn)增加。
　　23Q1實(shí)現(xiàn)營(yíng)收7.84億元（yoy +43%），歸母凈利潤(rùn)0.63億元（yoy +186%），扣非歸母凈利潤(rùn)0.58億元（yoy +49%）。22Q4及23Q1營(yíng)收及歸母凈利潤(rùn)符合申萬(wàn)預(yù)期。
　　23Q1營(yíng)收及訂單均實(shí)現(xiàn)高增。23Q1實(shí)現(xiàn)營(yíng)收7.84億元（yoy +43%）；毛利率34%，同比下降1.3pct，隨著濕法設(shè)備規(guī)模銷(xiāo)售，毛利率有望回升；合同負(fù)債3.03億元，較22年末2.70億元有所上升。23Q1經(jīng)營(yíng)性現(xiàn)金流量?jī)纛~2.07億元，近年首次轉(zhuǎn)正。
　　至純科技目前80%業(yè)務(wù)在半導(dǎo)體行業(yè)，半導(dǎo)體濕法制程設(shè)備新增訂單快速增長(zhǎng)，濕法設(shè)備訂單中高階設(shè)備占比6成，積累行業(yè)優(yōu)質(zhì)客戶(hù)。2019-2022年，新增訂單分別為14/20/32/36/42億元(yoy +30.6%)；濕法設(shè)備板塊，公司2015年起研發(fā)，2019-2022年濕法設(shè)備新增訂單分別為1.7/5.3/11.2/18億元(yoy +60.7%)，積累了中芯國(guó)際、合肥長(zhǎng)鑫、上海華虹等集成電路一線客戶(hù)群。2021年，首批次單片濕法設(shè)備已交付并順利通過(guò)驗(yàn)證，目前能滿(mǎn)足28nm全部濕法工藝需求，在14nm以下制程有4臺(tái)訂單。
　　除上海紫竹本部及研發(fā)中心外，在江蘇啟東建有設(shè)備研發(fā)制造基地（其中少量濕法制程設(shè)備在日本工廠），在安徽合肥設(shè)有晶圓及部件再生服務(wù)中心，在浙江海寧設(shè)有精密制造基地。目前濕法制程設(shè)備產(chǎn)能擴(kuò)至150臺(tái)，“單片濕法工藝模塊、核心零部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”將成為公司高階制程單片濕法裝備及零部件研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化基地，形成高階制程單片濕法模塊年產(chǎn)100套，各類(lèi)零部件年產(chǎn)近2000套。和“至純北方半導(dǎo)體研發(fā)項(xiàng)目”將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)系統(tǒng)集成及支持設(shè)備30套、半導(dǎo)體濕法設(shè)備15臺(tái)、半導(dǎo)體零部件2,610套的生產(chǎn)能力。“啟東半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)化基地二期項(xiàng)目”研發(fā)并量產(chǎn)爐管與涂膠顯影等集成電路設(shè)備、光伏制絨清洗設(shè)備等泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備，布局新品類(lèi)及新應(yīng)用領(lǐng)域，項(xiàng)目投資額8億，將形成年產(chǎn)爐管、涂膠顯影等集成電路設(shè)備50套，光伏工藝設(shè)備120套，面板制程設(shè)備10套，系統(tǒng)集成及工藝設(shè)備逾3千套，配套零部件逾3萬(wàn)套，預(yù)計(jì)年收入12.1億元。
　　部件材料與專(zhuān)業(yè)服務(wù)涵蓋設(shè)備零部件的供應(yīng)、大宗氣站服務(wù)、部件清洗服務(wù)、晶圓再生服務(wù)、晶圓工廠駐廠服務(wù)等。2021年以來(lái)合肥晶圓再生項(xiàng)目已正式量產(chǎn)爬坡，是國(guó)內(nèi)首條12英寸晶圓再生產(chǎn)線，首條部件清洗項(xiàng)目為國(guó)內(nèi)首條完整陽(yáng)極產(chǎn)線，年產(chǎn)168萬(wàn)片晶圓再生和120萬(wàn)件半導(dǎo)體零部件再生。
　　新增盈利預(yù)測(cè)，維持“買(mǎi)入”評(píng)級(jí)。維持2023/24年歸母凈利潤(rùn)預(yù)測(cè)5.01/6.45億元，新增2025年預(yù)測(cè)7.34億元，2023PE 27X，維持買(mǎi)入評(píng)級(jí)。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示：清洗設(shè)備訂單不及預(yù)期；新產(chǎn)能不及預(yù)期；投資失敗或虧損風(fēng)險(xiǎn)。