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國內薄膜沉積設備龍頭，布局三大產品系列。公司立足薄膜設備積極布局多元化產品系列，產品包括PECVD、ALD和SACVD設備，下游客戶覆蓋中芯國際、華虹集團、長江存儲等國內一線邏輯、存儲及功率等晶圓廠商。公司2022年營收同比增長125.02%至17.06億元，2017-2022年營收年均復合增速達57.6%。
　　PECVD設備：公司核心產品，產業(yè)化持續(xù)推進。公司深耕薄膜設備近十余年，形成了覆蓋全系列PECVD薄膜材料的設備，目前是國內唯一一家產業(yè)化應用的集成電路PECVD設備廠商，產品廣泛應用于邏輯、DRAM、3DNAND及先進封裝領域，設備本土主要產線覆蓋率超15%，公司持續(xù)擴大產品應用領域，產品市占率持續(xù)提升。
　　SACVD設備：產業(yè)化應用和國產替代先鋒。公司系國內外SACVD設備稀缺標的，產品性能對標國際一線大廠應用材料，已覆蓋長江存儲、華虹集團以及上海積塔等客戶，主要產線設備覆蓋率超25%，隨著公司積極開拓國內外市場，后續(xù)將打開成長空間。
　　ALD設備：市場規(guī)模持續(xù)增長，有望成為新增長亮點。受益于先進制程持續(xù)推進，市場對ALD設備需求加速增長。根據Acumen research and condulting，由于半導體先進制程產線數(shù)量增加，預計2026年全球ALD設備市場規(guī)模達到32億美元，高價值新品布局及放量有望成為后續(xù)一大亮點。
　　投資建議：預計公司2023-2025年營收分別為28.00、40.95、54.73億元，歸母凈利潤分別為5.06、7.71、10.20億元。公司從價值量大、技術含量高且國產化較薄弱的PECVD設備突破，占據先發(fā)優(yōu)勢，持續(xù)高投入拓展新品，豐富產品矩陣。作為國內薄膜沉積設備龍頭，隨著工藝覆蓋范圍逐步拓展以及新產品快速推出，公司營收和盈利有望快速增長，給予公司2023年20倍PS，對應股價為442.8元/股，給予“增持”評級。
　　風險提示：下游客戶驗證不及預期，競爭加劇，部分關鍵零部件卡脖子風險