>> 安信證券-電子行業(yè)深度分析：芯片良率的重要保障，量檢測設(shè)備國產(chǎn)替代潛力大-221212
| 上傳日期： |
2022/12/12 |
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| 3394KB |
| 格式： |
pdf 共51頁 |
來源： |
安信證券 |
| 評級： |
推薦 |
作者： |
馬良,郭旺 |
| 行業(yè)名稱： |
電子 |
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半導(dǎo)體量檢測設(shè)備是芯片良率重要保障：
半導(dǎo)體檢測設(shè)備分為前道和后道，貫穿芯片制造的各個環(huán)節(jié)，是芯片良率的重要保障。從市場規(guī)模來看，前道量檢測設(shè)備2021年市場規(guī)模114億美元，后道測試設(shè)備市場規(guī)模78億美元，在前道設(shè)備中市場規(guī)模僅次于光刻機、薄膜沉積和刻蝕設(shè)備。從技術(shù)路徑來看，前道量檢測設(shè)備可以分為光學(xué)檢測技術(shù)、電子束檢測技術(shù)和X光量測技術(shù)，其中光學(xué)檢測具備精度高、速度快等優(yōu)勢，是目前主流的技術(shù)路徑。
海外巨頭壟斷前道量檢測設(shè)備：
根據(jù)semi數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2020年全球量測設(shè)備市場上，KLA市占率51%，應(yīng)用材料市占率12%，日立科技市占率9%，行業(yè)前五大公司合計市場份額占比超過了80%，全球市場高度集中。從國內(nèi)市場來看，目前國內(nèi)市場國產(chǎn)化率較低，2020年我國半導(dǎo)體前道量測檢測設(shè)備國產(chǎn)化率約為2%，國產(chǎn)替代空間巨大。
量檢測設(shè)備國產(chǎn)替代持續(xù)推進，潛力巨大；
目前來看，國內(nèi)在前道量檢測設(shè)備已經(jīng)實現(xiàn)了部分產(chǎn)品的突破，其中上海睿勵主要聚焦于薄膜測量和尺寸光學(xué)檢測設(shè)備，已成功進入三星和長江存儲生產(chǎn)線，新研制的缺陷檢測設(shè)備也已進入下游客戶廠家；上海精測在膜厚產(chǎn)品（含集成式膜厚產(chǎn)品）、電子束、OCD量測等設(shè)備產(chǎn)品和相關(guān)技術(shù)通過自主研發(fā)均實現(xiàn)了技術(shù)突破，獲得了國內(nèi)一線客戶的批量訂單或驗證通過；中科飛測在無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備、圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備、三維形貌量測設(shè)備系列具備較強競爭力，并獲得了中芯國際、長電科技、長江存儲等國內(nèi)龍頭客戶訂單，填補了國內(nèi)量測設(shè)備市場的關(guān)鍵空缺領(lǐng)域。
后道測試設(shè)備國產(chǎn)替代空間巨大，SoC測試機國產(chǎn)化快速推進：據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，后道測試設(shè)備市場規(guī)模2020年為60.1億美元，預(yù)計2021/2022年為78/82億美元，同比增長30%/5%。在后道測試設(shè)備中，測試機在整體占比達到63%，其中SoC、存儲、模擬、射頻測試機占比分別為50%、30%、12%、8%。目前，全球測試設(shè)備市場絕大部分被愛德萬、泰瑞達、科休等海外廠商占據(jù)，國內(nèi)在模擬測試機上率先突破，國產(chǎn)化率已經(jīng)達到較高水平，但是在SoC、存儲、射頻測試機上國產(chǎn)化率依然較低，其中長川科技是國內(nèi)SoC測試機的龍頭，公司產(chǎn)品在核心性能以及指標上接近國外主流水平，在國內(nèi)IC客戶的份額正快速提高。
投資建議：推薦國內(nèi)刻蝕機龍頭中微公司（持股上海睿勵）、國內(nèi)后道模擬測試機龍頭華峰測控，SoC測試機龍頭長川科技以及國內(nèi)領(lǐng)先SoC測試機供應(yīng)商華興源創(chuàng)；關(guān)注國內(nèi)前道檢測設(shè)備龍頭精測電子、中科飛測（未上市）、半導(dǎo)體硅片檢測設(shè)備龍頭賽騰股份。
風(fēng)險提示：技術(shù)開發(fā)與迭代升級的風(fēng)險；半導(dǎo)體行業(yè)不及預(yù)期的風(fēng)險；國際貿(mào)易摩擦風(fēng)險；市場競爭加劇的風(fēng)險。
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