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TOPCon隧穿與摻雜多晶硅核心工藝設(shè)備環(huán)節(jié)具備多種技術(shù)路線和對(duì)應(yīng)高度壟斷的行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局。TOPCon相較于PERC增加硼擴(kuò)散設(shè)備、氧化硅隧穿層+p-Poly層制備設(shè)備、去繞鍍刻蝕設(shè)備，減少激光開(kāi)槽設(shè)備，其中2nm超薄隧穿層與摻雜多晶硅層制備最為核心，可選工藝路線較多。當(dāng)前較成熟為熱氧化法，即拉普拉斯的LPCVD路線，據(jù)我們不完全統(tǒng)計(jì)，2022年投產(chǎn)100GW左右TOPCon電池片中絕大部分使用LPCVD路線，PECVD、PVD、PEALD路線亦均有設(shè)備廠商積極布局。捷佳偉創(chuàng)于2021年12月與潤(rùn)陽(yáng)光伏簽訂PERC+升級(jí)TOPCon的整線改造訂單，為其提供5GW的PE-poly核心裝備，PE-Poly三合一設(shè)備可在同一機(jī)臺(tái)完成隧穿氧化層、非晶硅層、原位摻雜三道工序，該設(shè)備因具有投資成本低、摻雜工藝時(shí)間短、效率高、解決繞鍍問(wèn)題等明顯優(yōu)勢(shì)被視為L(zhǎng)PCVD強(qiáng)有力的競(jìng)爭(zhēng)路線之一。
　　微導(dǎo)納米PE-Poly設(shè)備成功規(guī)模導(dǎo)入頭部光伏電池企業(yè)，頭部企業(yè)示范效應(yīng)或?qū)?lái)行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局變動(dòng)。微導(dǎo)納米2023年1月18日公告，公司擬向彭山通威銷售ALD鈍化設(shè)備及PE-Poly設(shè)備，合同金額4.5億元（含13%增值稅），占公司2021年?duì)I收的105.58%。本次合同設(shè)備供應(yīng)項(xiàng)目為通威眉山（彭山）32GW高效電池項(xiàng)目——一期16GW項(xiàng)目。微導(dǎo)納米在本項(xiàng)目中保持正面Al2O3鈍化層設(shè)備供應(yīng)的行業(yè)領(lǐng)先地位，并成功簽約隧穿+摻雜多晶硅工藝部分PE-Poly設(shè)備，為公司首次向通威大批量供應(yīng)TOPCon核心工藝所需的PE-Poly設(shè)備，我們認(rèn)為這標(biāo)志公司PE-Poly設(shè)備成功規(guī)?；瘜?dǎo)入頭部光伏電池企業(yè)，具備與LPCVD、PECVD傳統(tǒng)頭部設(shè)備廠商同臺(tái)競(jìng)技的產(chǎn)品力。行業(yè)頭部企業(yè)的認(rèn)可將為公司2023年重點(diǎn)突破PECVD、PEALD與PECVD二合一機(jī)臺(tái)市場(chǎng)奠定良好基礎(chǔ)。
　　TOPCon隧穿與摻雜多晶硅設(shè)備未來(lái)或?qū)⒊尸F(xiàn)LPCVD、PECVD、PEALD三足鼎立局面。微導(dǎo)納米PE-Poly設(shè)備為PEALD+PECVD二合一機(jī)臺(tái)，充分發(fā)揮了公司在原子層沉積領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。相較LPCVD、PECVD，ALD技術(shù)沉積的隧穿氧化層能夠做到超?。ㄐ∮?nm）、大面積的均勻、更好的致密性。此前公司與先導(dǎo)智能合作提供并搭載了PEALD二合一設(shè)備的TOPCon工藝技術(shù)整線解決方案已于2022年9月在無(wú)錫尚德2GW數(shù)字化TOPCon產(chǎn)線成功實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，光電轉(zhuǎn)化效率大于25%，取得GW級(jí)別產(chǎn)業(yè)突破。我們認(rèn)為L(zhǎng)PCVD、PECVD、PEALD三大路線各有千秋，TOPCon高效電池產(chǎn)業(yè)參與者層次、數(shù)量眾多，需求各異，未來(lái)1-2年內(nèi)各大路線的競(jìng)爭(zhēng)預(yù)計(jì)會(huì)呈現(xiàn)較為均衡的狀態(tài)，而在均衡中此前市場(chǎng)份額較小且為光伏設(shè)備新秀的設(shè)備廠商業(yè)績(jī)彈性將會(huì)更大。
　　投資建議：微導(dǎo)納米的光伏設(shè)備業(yè)務(wù)成長(zhǎng)邏輯從鈍化層ALD工藝向鈍化層ALD+隧穿氧化層PEALD+摻雜多晶硅層PECVD的整套解決方案逐步深化，市場(chǎng)空間大幅增加。建議關(guān)注光伏設(shè)備板塊業(yè)績(jī)彈性較大、同時(shí)半導(dǎo)體ALD設(shè)備密集驗(yàn)證、已有重復(fù)訂單的微導(dǎo)納米。
　　風(fēng)險(xiǎn)分析：TOPCon產(chǎn)業(yè)化不及預(yù)期；新電池技術(shù)迭代速度超預(yù)期；傳統(tǒng)頭部光伏設(shè)備廠設(shè)備更新不及預(yù)期。