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國產(chǎn)刻蝕設(shè)備龍頭企業(yè)，產(chǎn)品覆蓋海外一線大廠及國內(nèi)頭部廠商。中微成立于2004年，公司核心高管及技術(shù)人員多數(shù)具有國際半導(dǎo)體大廠從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，CEO尹志堯博士是近300項(xiàng)海內(nèi)外專利的主要發(fā)明人。公司主營等離子體刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備以及空氣凈化設(shè)備，產(chǎn)品覆蓋了半導(dǎo)體集成電路制造、先進(jìn)封裝、LED生產(chǎn)、MEMS制造等領(lǐng)域。公司2022年全年預(yù)計(jì)實(shí)現(xiàn)營收47.4億元，同比增長52.5%，實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤區(qū)間為11.70億元，同比增長15.66%；實(shí)現(xiàn)扣非歸母凈利潤9.19億元，同比增長183.44%。
　　刻蝕機(jī)業(yè)務(wù)高速發(fā)展，CCP市占率不斷提升，ICP設(shè)備快速放量。公司CCP設(shè)備性能先進(jìn)，在國產(chǎn)設(shè)備中處于絕對領(lǐng)先地位，已切入國際知名廠商5nm產(chǎn)線，國內(nèi)市場份額持續(xù)提升，2022年公司已累計(jì)有2320個(gè)反應(yīng)臺(tái)在生產(chǎn)線運(yùn)轉(zhuǎn)；ICP設(shè)備2022年上半年收入4.13億元，同比增長414.08%，截至2022年6月底，ICPNanova設(shè)備已經(jīng)順利交付超過220臺(tái)反應(yīng)腔，在客戶端完成驗(yàn)證的應(yīng)用數(shù)量也在持續(xù)增加。截至2022年中，本土刻蝕設(shè)備國產(chǎn)化率約兩成，中美貿(mào)易摩擦持續(xù)刺激國產(chǎn)設(shè)備的需求，公司作為國產(chǎn)刻蝕設(shè)備龍頭有望持續(xù)受益。
　　MOCVD設(shè)備保持領(lǐng)先地位，LPCVD、EPI、ALD有望成為業(yè)績新增長點(diǎn)。公司MOCVD在Mini-LED中的藍(lán)綠光生產(chǎn)線取得絕對領(lǐng)先地位，針對Micro-LED的新品設(shè)備也在積極研發(fā)，布局于金屬鎢填充的LPCVD設(shè)備、鍺硅外延生長的Epi設(shè)備和原子層沉積的ALD設(shè)備研發(fā)順利，部分已經(jīng)進(jìn)入樣機(jī)制造和調(diào)試階段，預(yù)計(jì)將于23年陸續(xù)推出，有望成為公司新的業(yè)務(wù)成長點(diǎn)。
　　投資布局量測設(shè)備，有望成為國產(chǎn)替代新軍主力。量測設(shè)備貫穿整個(gè)晶圓制造環(huán)節(jié)，設(shè)備價(jià)值約占產(chǎn)線價(jià)值的13%，也是前道國產(chǎn)化率最低的環(huán)節(jié)之一，截至2022年國產(chǎn)化率僅約1%。KLA的退出提高了國產(chǎn)量測設(shè)備環(huán)節(jié)的重要性，國產(chǎn)量測設(shè)備有望進(jìn)入國產(chǎn)替代加速期，中微22年對睿勵(lì)儀器追加1.08億元現(xiàn)金投資，持股比例從20.4%變更為29.4%，持續(xù)投資布局工藝檢測設(shè)備領(lǐng)域，有望成為國產(chǎn)量測設(shè)備主力，同時(shí)與制造設(shè)備形成良性協(xié)同作用。
　　盈利預(yù)測與估值：目標(biāo)價(jià)151.7-161.8元，上調(diào)至“買入”評級。我們預(yù)計(jì)2022-2024年公司歸母凈利潤為12.19/15.59/19.22億元（ YoY20.5%/27.9%/23.3%），根據(jù)相對估值，目標(biāo)價(jià)為151.7-161.8元，上調(diào)至“買入”評級。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示：下游需求不及預(yù)期；新產(chǎn)品研發(fā)失敗風(fēng)險(xiǎn)；行業(yè)競爭加劇風(fēng)險(xiǎn)等