>> 上海證券-電子行業(yè)：出口管制政策收緊帶來廣闊替代空間，國產(chǎn)設(shè)備性能突破彰顯卓越替代潛能-230530
| 上傳日期： |
2023/5/30 |
大小： |
385KB |
| 格式： |
pdf 共2頁 |
來源： |
上海證券 |
| 評級： |
增持 |
作者： |
王珠琳 |
| 行業(yè)名稱： |
電子 |
| 下載權(quán)限： |
此報告為加密報告 |
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事件描述
5月23日，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省公布外匯法法令修正案，將先進(jìn)芯片制造設(shè)備追加列入出口管理的管制對象。該計劃涉及清洗、成膜、熱處理、曝光、蝕刻、檢查等23個種類的設(shè)備，除10-14nm先進(jìn)制程設(shè)備外還包括≤45nm的成熟制程用光刻設(shè)備，并將于7月23日正式實(shí)行。
分析與判斷
美、荷、日相繼升級先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備出口管制政策，中國先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn)或受限，但成熟制程或受影響較小。2022年10月美國出臺新出口管制政策，禁止用于生產(chǎn)16/14nm以下制程邏輯芯片、128層或以上NAND、18nm以下制程的DRAM的設(shè)備、零部件、軟件技術(shù)等出口。2023年3月，荷蘭將光刻機(jī)出口管制范圍由極紫外擴(kuò)大至最先進(jìn)的浸沒式深紫外；ASML解讀，NXT:1980Di設(shè)備（分辨率≤38nm）仍允許出口，成熟制程或不會受到影響。日本新修正的限制政策則更為嚴(yán)格：10-14nm先進(jìn)制程設(shè)備及≤45nm的成熟制程用光刻設(shè)備均受限制。
我國半導(dǎo)體設(shè)備長期需求不減，且核心設(shè)備依賴日本進(jìn)口，本次修正案有望帶來廣闊替代空間。從需求角度來看，集微咨詢統(tǒng)計，22-25年中國大陸或?qū)⑿略?5座12英寸晶圓廠。同時，20-22年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額均居全球第一，年復(fù)合增長率約23%。我們認(rèn)為，長期來看我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)仍處于高速發(fā)展期，晶圓廠數(shù)目持續(xù)增多，國家
戰(zhàn)略聚焦，半導(dǎo)體制造設(shè)備需求有望維持在高位。從設(shè)備進(jìn)口角度來看，我國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率雖有較大提升，但仍處于低位。SEMI指出，2022年國內(nèi)晶圓廠半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)率為35%，同比+14 pct。同時，據(jù)集微網(wǎng)數(shù)據(jù)可知，中國大陸對日本半導(dǎo)體制造設(shè)備有較強(qiáng)依賴，2022年中國大陸從日本進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備的金額約107.4億美元，占中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口總額比例超30%。
國產(chǎn)設(shè)備多數(shù)已具有成熟制程替代能力，部分已在先進(jìn)制程技術(shù)上有所突破。北方華創(chuàng)12英寸ICP刻蝕機(jī)在客戶端實(shí)現(xiàn)28nm國產(chǎn)化替代，在14/7nm先進(jìn)存儲器等工藝應(yīng)用中也發(fā)揮著重要作用；公司14nm薄膜沉積設(shè)備也已在客戶端通過多道制程工藝驗(yàn)證，并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)應(yīng)用。拓荊科技已覆蓋PECVD/SACVD/ALD/HDPCVD，可適配28/14nm邏輯芯片等產(chǎn)線。中微公司雙反應(yīng)臺刻蝕機(jī)在5nm及更先進(jìn)產(chǎn)線上均實(shí)現(xiàn)多次批量銷售。盛美上海清洗技術(shù)可應(yīng)用于45nm及以下節(jié)點(diǎn)晶圓清洗工藝。萬業(yè)企業(yè)離子注入機(jī)可覆蓋含28nm的主流成熟制程；同時公司著力研制≤14nm制程的FinFET集成電路離子注入機(jī)。
投資建議
維持電子行業(yè)“增持”評級，先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備出口管制政策加速收緊，本次管制涉及到的半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)廠商有望優(yōu)先受益，推薦離子注入機(jī)龍頭萬業(yè)企業(yè)，建議關(guān)注其他前道設(shè)備廠商：拓荊科技（薄膜沉積）、中微公司（刻蝕&薄膜沉積）、北方華創(chuàng)（刻蝕&薄膜沉積&清洗&氧化）、盛美上海（清洗）、華峰測控（測試）。
風(fēng)險提示
晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期，研發(fā)進(jìn)展不及預(yù)期，貿(mào)易爭端影響供應(yīng)鏈。
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