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近期SSMB方案得到廣泛關(guān)注，我們認(rèn)為存在EUV光源換道超車的可能性。從技術(shù)層面看，SSMB與同步輻射光源技術(shù)具有一定相似性，SSMB具備產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證條件。從供應(yīng)鏈角度看，我國在同步輻射光源領(lǐng)域基礎(chǔ)較好，在核心零部件自主可控的前提下，HEPS項(xiàng)目已完成光源出束。目前，SSMB方案已完成理論證明，項(xiàng)目建設(shè)有望提上日程。若SSMB方案商業(yè)化進(jìn)展順利，我國將在光刻機(jī)領(lǐng)域取得重大突破并推動(dòng)國內(nèi)先進(jìn)制程領(lǐng)域發(fā)展。圍繞SSMB主題，我們建議關(guān)注兩條投資主線：項(xiàng)目基礎(chǔ)設(shè)施供應(yīng)商、光刻機(jī)關(guān)鍵零部件供應(yīng)商。
　　▍回顧歷史，光源選擇決定光刻機(jī)高度。光源變革是光刻機(jī)技術(shù)迭代最有力的推動(dòng)者，其他技術(shù)的變革是對(duì)光源迭代的回應(yīng)?；仡櫣饪虣C(jī)發(fā)展歷史，ASML正是選擇了激進(jìn)光源技術(shù)才實(shí)現(xiàn)了換道超車。SR光刻與EUV光刻均采用XIL技術(shù)，由于非相干光功率較低限制了SR光源工業(yè)化量產(chǎn)。SR光源和EUV光源均屬于軟X射線波段，在光刻環(huán)節(jié)均采用XIL技術(shù)，上海光源的XIL線站已運(yùn)行超過十年，已取得一系科研和產(chǎn)業(yè)進(jìn)展。但由于SR光源束團(tuán)長度較長，產(chǎn)生的光相干性較差功率較小，限制了其在工業(yè)領(lǐng)域的大規(guī)模量產(chǎn)，SR光刻僅停留在實(shí)驗(yàn)室階段。
　　▍SSMB能通過FEL同時(shí)實(shí)現(xiàn)光源的短波長和相干性，克服SR光源功率不足的問題，預(yù)計(jì)投資規(guī)模較大。SSMB存儲(chǔ)環(huán)中的自由電子激光具有束團(tuán)品質(zhì)高、波長連續(xù)可調(diào)、相干性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，使得加速器光源產(chǎn)業(yè)化具備可行性。從投資規(guī)?？矗鶕?jù)《穩(wěn)態(tài)微聚束加速器光源》（唐傳祥、鄧秀杰，2022），SSMB投資強(qiáng)度較大，預(yù)計(jì)造價(jià)為數(shù)億到十億元。同時(shí)，參照HEPS項(xiàng)目，我們預(yù)計(jì)未來SSMB項(xiàng)目主要零部件可達(dá)成自主可控，具備商業(yè)化落地前提。目前，HEPS加速器組成已部分完成招標(biāo)，根據(jù)HEPS官網(wǎng)以及中國政府采購網(wǎng)信息，HEPS加速器的電子槍、微波功率源、配套儀器等供應(yīng)商基本以國內(nèi)廠商為主，供應(yīng)商包括沈陽科學(xué)儀器、寶勝科技、北京高能銳新科技、合肥科燁、合肥聚能、愛科賽博、杭州永磁等；但真空系統(tǒng)配套設(shè)備組件采購仍較大程度依賴海外廠商，包括普發(fā)真空、美國MT、三井光中真空、韓國希爾泰等。
　　▍風(fēng)險(xiǎn)因素：SSMB可能存在應(yīng)用瓶頸；方案建設(shè)進(jìn)度不及預(yù)期；光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展不及預(yù)期；商業(yè)化進(jìn)度不及預(yù)期；半導(dǎo)體行業(yè)資本開支力度減弱。
　　▍投資策略：作為“半導(dǎo)體工業(yè)掌上明珠”，ASML目前仍為全球唯一EUV光刻機(jī)供應(yīng)商。受到國際政治博弈等不利因素影響，我國亟需在EUV光刻機(jī)等核心設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破。清華大學(xué)提出的SSMB方案創(chuàng)新性地將同步輻射光源技術(shù)應(yīng)用于EUV光刻領(lǐng)域。我國在同步輻射光源領(lǐng)域基礎(chǔ)較好，HEPS項(xiàng)目已完成光源出束。從供應(yīng)鏈角度看，HEPS基本可達(dá)到核心組成部分自主可控，我們認(rèn)為SSMB方案在技術(shù)以及基礎(chǔ)設(shè)施領(lǐng)域均具備較好的可實(shí)施性。雖然SSMB方案仍未進(jìn)入建設(shè)期，項(xiàng)目仍有較大不確定性，但我們認(rèn)為HEPS供應(yīng)商與SSMB具有可比性，梳理HEPS項(xiàng)目供應(yīng)商具有一定合理性。圍繞SSMB方案，我們建議重點(diǎn)關(guān)注兩條投資主線：1）項(xiàng)目基礎(chǔ)設(shè)施供應(yīng)商：若方案在未來得到驗(yàn)證，我們認(rèn)為有望率先帶動(dòng)大規(guī)模SSMB方案基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，電源、真空系統(tǒng)、電線電纜、核心器件等零組件有望率先受益，推薦英杰電氣（300820.SZ）、寶勝股份（600973.SH），建議關(guān)注愛科賽博（688719.SH）、國光電氣（688776.SH）；2）光刻機(jī)關(guān)鍵零部件供應(yīng)商：短期看，在傳統(tǒng)技術(shù)路線下，我國光刻機(jī)核心零部件正處于快速發(fā)展階段，國內(nèi)光學(xué)廠商技術(shù)實(shí)力已取得長足進(jìn)步；長期看，若SSMB方案順利落地，我國有望在光源系統(tǒng)換道超車，有望加速國產(chǎn)EUV光刻機(jī)量產(chǎn)進(jìn)度，建議關(guān)注福晶科技（002222.SZ）、騰景科技（688195.SH）、茂萊光學(xué)（688502.SH）、波長光電（301421.SZ）。