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前三季度營(yíng)收同比增長(zhǎng)47%達(dá)30.4億元，歸母扣非凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)290%至6.4億元。前三季新簽訂單金額同比增長(zhǎng)60%達(dá)56.4億元；合同負(fù)債繼續(xù)提升，三季度末達(dá)19.7億元。三季度單季營(yíng)收、毛利潤(rùn)和歸母扣非凈利潤(rùn)分別為10.7、4.9和2.0億元，同比分別增長(zhǎng)46%、58%和97%。
　　刻蝕設(shè)備維持高增長(zhǎng)：前三季刻蝕設(shè)備收入為20.0億元，同比增長(zhǎng)48%，毛利率46.5%；其中CCP刻蝕設(shè)備前三季收入同比增長(zhǎng)29%至14.5億元，ICP刻蝕設(shè)備前三季收入同比增長(zhǎng)139%至5.51億元。中微刻蝕設(shè)備的雙反應(yīng)臺(tái)技術(shù)大幅提升加工效率。中微CCP設(shè)備在一些主要客戶的生產(chǎn)線已達(dá)30%甚至更高的市占率，部分設(shè)備正在國(guó)際客戶5納米晶圓生產(chǎn)線的部分應(yīng)用上穩(wěn)定可靠的進(jìn)行大生產(chǎn)，并在5納米以下的器件試生產(chǎn)上取得可喜的進(jìn)展。公司的用于邏輯器件大馬士革刻蝕及用于極高深寬比存儲(chǔ)應(yīng)用的刻蝕機(jī)開發(fā)進(jìn)展順利，將陸續(xù)進(jìn)入市場(chǎng)。
　　 MOCVD受益于Mini LED市場(chǎng)增長(zhǎng)：前三季MOCVD設(shè)備收入為3.9億元，毛利率達(dá)到35.8%。公司近日運(yùn)付第500臺(tái)MOCVD設(shè)備，用于氮化鎵基Mini LED外延片量產(chǎn)，Mini LED已廣泛應(yīng)用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外顯示屏等終端產(chǎn)品。中微的Prismo UniMax MOCVD設(shè)備具有高能效和高產(chǎn)能等優(yōu)勢(shì)，創(chuàng)新的多區(qū)輔助加熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于提升LED波長(zhǎng)均勻性。最多可同時(shí)加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片。
　　積極研發(fā)薄膜沉積設(shè)備：公司有超過(guò)十年單晶硅外延設(shè)備的經(jīng)驗(yàn)，正研發(fā)硅和鍺硅集成電路的EPI設(shè)備，也正在開發(fā)導(dǎo)體類LPCVD和導(dǎo)體類ALD，逐步突破薄膜沉積設(shè)備200億美元大賽道。
　　盈利預(yù)測(cè)與投資建議
　　我們預(yù)測(cè)公司2022-2024年每股收益分別為1.70、2.28、3.17元（原22-24年預(yù)測(cè)分別為1.58、2.23、3.11元，主要上調(diào)了刻蝕設(shè)備、MOCVD的毛利率和投資收益預(yù)測(cè)），采用絕對(duì)估值法（FCFF），給予180.46元目標(biāo)價(jià)，維持買入評(píng)級(jí)。
　　風(fēng)險(xiǎn)提示
　　刻蝕設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)度不及預(yù)期；半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)景氣度不及預(yù)期；MiniLED需求不及預(yù)期；政府補(bǔ)助下滑風(fēng)險(xiǎn)；零部件斷供風(fēng)險(xiǎn)。