>> 國泰君安-碳化硅設(shè)備行業(yè)深度報告：多技術(shù)并行，碳化硅襯底切片設(shè)備加速國產(chǎn)化-230425
| 上傳日期： |
2023/4/25 |
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| 3547KB |
| 格式： |
pdf 共44頁 |
來源： |
國泰君安 |
| 評級： |
增持 |
作者： |
徐喬威 |
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本報告導(dǎo)讀：
碳化硅具備增效與節(jié)能的優(yōu)勢，有望在中高壓環(huán)節(jié)實現(xiàn)對硅基材料器件的替代；受益于下游新能源汽車和光伏需求激增，行業(yè)產(chǎn)能擴張催生百億級設(shè)備市場。
摘要：
投資要點：碳化硅襯底是產(chǎn)業(yè)鏈最核心環(huán)節(jié)，新能源汽車+光伏需求驅(qū)動產(chǎn)能擴張，為切片設(shè)備帶來增量。1）碳化硅具備高性能與低損耗的優(yōu)勢，有望在中高壓領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)對硅基材料的替代；2）襯底制備作為當(dāng)前產(chǎn)業(yè)鏈最核心環(huán)節(jié)(價值量占47%)，晶體生長和切割環(huán)節(jié)高難度限制了當(dāng)前行業(yè)產(chǎn)能；3）新能源汽車和光伏興起，對高壓、高功率半導(dǎo)體器件需求激增，催生碳化硅產(chǎn)能擴張。產(chǎn)能端建議關(guān)注國內(nèi)外廠商8英寸襯底進展，襯底擴徑可提高晶圓利用率，降低制造成本；設(shè)備端建議關(guān)注大尺寸襯底切片設(shè)備技術(shù)進展，切割設(shè)備技術(shù)提升可以提高襯底綜合良率。首次覆蓋碳化硅設(shè)備行業(yè)，給予增持評級。
推薦標(biāo)的：實現(xiàn)高線速碳化硅金剛線切片機批量銷售，已推出8寸碳化硅金剛線切片機并持續(xù)推進設(shè)備國產(chǎn)替代的高測股份。推出國內(nèi)首款高線速碳化硅金剛線切片機GC-SCDW6500可獲得和砂漿切割相同的晶片質(zhì)量，同時大幅提升切割效率，顯著降低生產(chǎn)成本，行業(yè)內(nèi)獨家實現(xiàn)批量銷售，實現(xiàn)國產(chǎn)替代。
碳化硅材料兼具高性能+低損耗優(yōu)勢，晶體生長和切割是產(chǎn)業(yè)化瓶頸。優(yōu)勢：1）高性能：碳化硅相比硅有四大優(yōu)勢：大帶隙、大載流子漂移速率、大熱導(dǎo)率和大擊穿電場，做成的器件對應(yīng)有四高性能：高功率、高頻率、高溫和高電壓。2）低損耗：SiC材料導(dǎo)通電阻低，制作的器件漂移層摻雜濃度更高也更薄，相比硅基器件開關(guān)損耗和系統(tǒng)損耗較低。瓶頸：晶體生長慢、工藝可控性差、擴徑難度高；碳化硅硬度高、脆性大、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，切割加工難度大，造成行業(yè)多技術(shù)路線并存的現(xiàn)狀，也是當(dāng)前國產(chǎn)化進程的難點。
新能源汽車+光伏需求增長刺激產(chǎn)能擴張，我們測算2026年碳化硅設(shè)備市場空間超250億。1）供給端：我們預(yù)計2026年碳化硅襯底名義產(chǎn)能達(dá)839.2萬片，對應(yīng)251.8億設(shè)備總市場空間，48.0億的新增市場空間，其中切片設(shè)備占比14%。2）需求端：目前新能源車是導(dǎo)電型碳化硅襯底最大應(yīng)用領(lǐng)域，光伏是第二大應(yīng)用市場，我們測算到2026年導(dǎo)電型碳化硅襯底合計有455.7萬片的新增潛在市場需求，而我們估計導(dǎo)電型襯底有效產(chǎn)能僅為397.3萬片，存在58.4萬片的有效產(chǎn)能缺口，對應(yīng)約29.2億元設(shè)備投資空間。
風(fēng)險提示：碳化硅滲透率提升不及預(yù)期、碳化硅擴產(chǎn)不及預(yù)期
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