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>> 國(guó)海證券-半導(dǎo)體前道量檢測(cè)設(shè)備行業(yè)報(bào)告:重點(diǎn)產(chǎn)品持續(xù)突破,國(guó)產(chǎn)替代正在加速-240118
上傳日期:   2024/1/19 大?。?/td>   7705KB
格式:   pdf  共56頁(yè) 來(lái)源:   國(guó)海證券
評(píng)級(jí):   推薦 作者:   姚健,杜先康
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半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)空間廣闊
  半導(dǎo)體行業(yè)需求回暖疊加中國(guó)大陸晶圓廠持續(xù)擴(kuò)產(chǎn),國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)長(zhǎng)期有望穩(wěn)健增長(zhǎng)。質(zhì)量控制貫穿晶圓制造全過(guò)程,是芯片生產(chǎn)良率的關(guān)鍵保障,先進(jìn)制程將對(duì)工藝控制水平提出更高要求,量檢測(cè)設(shè)備價(jià)值量有望倍增。我們測(cè)算,2023/2024/2025/2026年全球半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)空間分別為105/120/138/145億美元,CAGR達(dá)11.5%,中國(guó)大陸半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)空間分別為35/41/48/51億美元,CAGR達(dá)12.8%。
  多系統(tǒng)組合有望成為檢測(cè)技術(shù)方向
  我們測(cè)算,2022年全球光學(xué)/電子束/X光檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)份額分別為74.2%/19.7%/2.2%,光學(xué)檢測(cè)速度快、無(wú)接觸,然而先進(jìn)節(jié)點(diǎn)檢測(cè)靈敏度有限;電子束檢測(cè)精度較高,然而速率較慢、設(shè)備成本較高;隨著芯片材料和結(jié)構(gòu)復(fù)雜性持續(xù)提升,多系統(tǒng)組合有望成為檢測(cè)技術(shù)方向。
  近年量檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代正在加速
  據(jù)VLSIResearch、QYResearch,2020年全球半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備行業(yè)CR5達(dá)82%,KLA歷經(jīng)多次并購(gòu),產(chǎn)品種類齊全,2020年KLA量檢測(cè)設(shè)備全球市占率達(dá)51%;ASML將量檢測(cè)設(shè)備與EUV系統(tǒng)配套,電子束檢測(cè)設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)顯著,據(jù)the information network,2022年ASLM電子束檢測(cè)設(shè)備全球市占率達(dá)50%。目前量檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率較低,本土主要供應(yīng)商包括上海精測(cè)、中科飛測(cè)和睿勵(lì)儀器,2018-2022年三家公司國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額合計(jì)0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%,地緣因素影響下,量檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代正在加速。
  關(guān)注本土設(shè)備商新品突破及訂單進(jìn)展
  半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備空間廣闊,國(guó)產(chǎn)替代正在加速,建議關(guān)注精測(cè)電子、中科飛測(cè)、中微公司、賽騰股份、天準(zhǔn)科技。1)精測(cè)電子:立足面板檢測(cè)主業(yè),半導(dǎo)體產(chǎn)品持續(xù)完善,明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備進(jìn)展領(lǐng)先;2)中科飛測(cè):聚焦量檢測(cè)設(shè)備近十年,納米圖形晶圓缺陷檢測(cè)、關(guān)鍵尺寸量測(cè)等設(shè)備加速研發(fā);3)中微公司:多次增資睿勵(lì)儀器,量檢測(cè)收入持續(xù)增長(zhǎng);4)賽騰股份:收購(gòu)日本Optima,布局晶圓檢測(cè)設(shè)備;5)天準(zhǔn)科技:加速布局半導(dǎo)體領(lǐng)域,首臺(tái)明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備已交付客戶試用。首次覆蓋,給予半導(dǎo)體前道量檢測(cè)設(shè)備行業(yè)“推薦”評(píng)級(jí)。
  風(fēng)險(xiǎn)提示:半導(dǎo)體行業(yè)景氣度復(fù)蘇不及預(yù)期;半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代不及預(yù)期;行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加劇風(fēng)險(xiǎn);市場(chǎng)空間測(cè)算偏差風(fēng)險(xiǎn);重點(diǎn)關(guān)注公司業(yè)績(jī)不及預(yù)期;研究報(bào)告使用的公開資料可能存在信息滯后或更新不及時(shí)的風(fēng)險(xiǎn)等。
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