>> 信達證券-量測設(shè)備行業(yè)深度：寸轄制輪，事得其要-230202
| 上傳日期： |
2023/2/5 |
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| 2885KB |
| 格式： |
pdf 共26頁 |
來源： |
信達證券 |
| 評級： |
推薦 |
作者： |
莫文宇 |
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量測/檢測設(shè)備行業(yè)是不可多得的好賽道：長期高回報、空間大機會足。根據(jù)Gartner數(shù)據(jù)統(tǒng)計，KLA在量測/檢測設(shè)備行業(yè)市場占比超50%，是名副其實的行業(yè)龍頭，該公司通過大舉并購實現(xiàn)以過程控制設(shè)備為核心、相關(guān)良率管理服務(wù)配套的完整產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。近年來隨著晶圓制造的精細發(fā)展，良率的提升成為了制造商著重關(guān)注的部分，KLA也隨之在近幾年取得長足收益，與其他海外半導(dǎo)體設(shè)備廠商相比，KLA的整體表現(xiàn)已穩(wěn)居前列，此類質(zhì)量監(jiān)測設(shè)備的高回報屬性也在逐步顯露。國內(nèi)過程控制設(shè)備企業(yè)數(shù)量較少、產(chǎn)值較低，相較于其他晶圓生產(chǎn)設(shè)備，量測/檢測設(shè)備難以實現(xiàn)有效產(chǎn)值匹配。以中芯國際為例，KLA等歐美廠商是生產(chǎn)線上過程控制設(shè)備等主要提供方，量測/檢測設(shè)備的國內(nèi)發(fā)展空間仍舊很大。
量測/檢測設(shè)備貫穿晶圓制造全過程，國產(chǎn)需求迫在眉睫。量測/檢測設(shè)備作為保證集成電路芯片生產(chǎn)線取得高成品率和高經(jīng)濟回報的關(guān)鍵性設(shè)備，在前后道工藝中均發(fā)揮了作用。在前道制造工藝中主要針對產(chǎn)品的關(guān)鍵參數(shù)進行測量，并發(fā)現(xiàn)其中存在的缺陷；在后道封裝工藝中，針對芯片封裝、圓片級封裝和硅通孔等關(guān)鍵技術(shù)的缺損及其參數(shù)的檢查及測量，相較而言過程控制對前道工藝的意義更加顯著。放眼國內(nèi)過程控制設(shè)備企業(yè)，由于整體起步較晚，很少有企業(yè)可以實現(xiàn)質(zhì)量監(jiān)督全覆蓋，但近年來隨著國內(nèi)產(chǎn)線的不斷升級需要加之國際形勢的日益嚴峻，量測/檢測設(shè)備的國產(chǎn)需求急劇增加，國內(nèi)企業(yè)的進一步發(fā)展迫在眉睫。
依靠光學(xué)、電子束兩大核心技術(shù)，賽道平臺化前景廣闊。從技術(shù)層面來看，量測/檢測設(shè)備的研發(fā)離不開光學(xué)與電子束的發(fā)展。其中光學(xué)技術(shù)的使用更加頻繁，基本實現(xiàn)量測及檢測設(shè)備的全面應(yīng)用，電子束相對而言在檢測設(shè)備及缺陷復(fù)查領(lǐng)域的應(yīng)用更加廣泛，二者由于各有優(yōu)劣，在晶圓廠的良率管理上基本均有搭配使用。具體到國內(nèi)各企業(yè)而言，不同企業(yè)的深耕范圍有所差異，目前仍未形成直接廣泛的競爭關(guān)系。國內(nèi)，精測電子在光學(xué)量測設(shè)備、晶圓缺陷檢測設(shè)備以及電子束設(shè)備方面均有布局，進展國內(nèi)領(lǐng)先；中科飛測在集成電路、先進封裝領(lǐng)域的光學(xué)檢測、量測領(lǐng)域積累深厚；上海睿勵主要從事光學(xué)技術(shù)層面的設(shè)備開發(fā)；賽騰股份通過收購日本OPTIMA進軍半導(dǎo)體量測設(shè)備領(lǐng)域；東方晶源在電子束缺陷檢測設(shè)備上造詣頗深。
建議關(guān)注：精測電子、中科飛測、賽騰股份
風(fēng)險因素：技術(shù)研發(fā)進度不及預(yù)期；晶圓廠擴產(chǎn)進度不及預(yù)期；地緣政治風(fēng)險
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